[實用新型]探針臺的晶圓芯粒自動對準裝置有效

申請號：	201420564913.1	申請日：	2014-09-29
公開（公告）號：	CN204088274U	公開（公告）日：	2015-01-07
發明（設計）人：	宋濤;劉烽;趙明宇	申請（專利權）人：	秦皇島視聽機械研究所
主分類號：	H01L21/66	分類號：	H01L21/66;H01L21/68
代理公司：	秦皇島市維信專利事務所 13102	代理人：	戴輝
地址：	066000 河北省***	國省代碼：	河北;13
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摘要：
搜索關鍵詞：	探針晶圓芯粒自動對準裝置
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【權利要求書】：

1.一種探針臺的晶圓芯粒自動對準裝置，包括晶圓探針臺；其特征是，它還具有用于控制晶圓探針臺運動的視覺系統；所述的視覺系統，包括工控機（8），及其上與之連接的支撐臂（12），該支撐臂（12）上安裝有CCD攝像機（9）及CCD攝像機（9）連接的鏡頭（6）和安裝在鏡頭（6）上的LED光源（7），由CCD攝像機（9）通過數據傳輸線與工控機（8）控制系統連接。

2.根據權利要求1所述的一種探針臺的晶圓芯粒自動對準裝置，其特征是，所述LED光源（7）分布于鏡頭（6）的周圍。

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