[實用新型]探針臺的晶圓芯粒自動對準(zhǔn)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420564913.1
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN204088274U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋濤;劉烽;趙明宇
• 申請（專利權(quán)）人: 秦皇島視聽機械研究所
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/68
• 代理公司: 秦皇島市維信專利事務(wù)所 13102
• 代理人: 戴輝

技術(shù)領(lǐng)域

?本實用新型涉及一種晶圓探針臺，特別涉及一種探針臺的晶圓芯粒自動對準(zhǔn)裝置。

背景技術(shù)

晶圓探針臺的主要功能是晶圓通過真空閥吸附在承片臺上，晶粒的位置隨著定位平臺有規(guī)則的移動并與探針接觸，實現(xiàn)對晶粒各項指標(biāo)的測試。整機包括承片臺，三軸定位平臺，轉(zhuǎn)臺及控制系統(tǒng)。

傳統(tǒng)的探針臺上下片由工人手工完成，不但效率低而且容易造成探針不在晶圓第一粒中心，而使隨后的測試過程產(chǎn)生累積誤差，嚴(yán)重的情況會使探針跑偏，不能完成測試。?而測試作為半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中重要一環(huán)，探針臺的精度直接影響到整個生產(chǎn)，人工上片在角度調(diào)整及對準(zhǔn)晶圓第一個芯粒的過程中，是效率降低及產(chǎn)生誤差的主要原因，而且由于整個半導(dǎo)體前道工藝的發(fā)展提高，晶圓品體的個數(shù)、品體圖形都更加精密復(fù)雜，要求探針臺在提高機械精度的同時，探針臺的對準(zhǔn)精度，對準(zhǔn)效率都要有更高的要求。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)狀，本實用新型為了解決晶圓角度自動調(diào)整及自動對準(zhǔn)晶圓第一個芯粒的技術(shù)問題，而提供了一種探針臺的晶圓芯粒自動對準(zhǔn)裝置，有效提高了機械精度、探針臺的對準(zhǔn)精度及對準(zhǔn)效率。

本實用新型的技術(shù)解決措施是，一種探針臺的晶圓芯粒自動對準(zhǔn)裝置，包括晶圓探針臺；其中它還具有用于控制晶圓探針臺運動的視覺系統(tǒng)；所述的視覺系統(tǒng)，包括工控機，及與工控機連接的支撐臂，該支撐臂上安裝有CCD攝像機及CCD攝像機連接的鏡頭，和安裝在鏡頭上的LED光源，由CCD攝像機通過數(shù)據(jù)傳輸線與工控機控制系統(tǒng)連接。因此，通過視覺系統(tǒng)中的LED光源輔助照明，及視覺系統(tǒng)中的鏡頭及CCD攝像機采集晶圓探針臺上的晶圓圖像信息，并傳送給工控機進行處理，及發(fā)送相應(yīng)的運動指令給晶圓探針臺，進行控制它們的運動。

本新型中，所涉及的LED光源分布于鏡頭的周圍。

本新型所指的晶圓探針臺屬已有技術(shù)，主要利用晶圓探針臺控制承片臺進行角度調(diào)整。

本實用新型具有的效果是，因采用了自動對位裝置中的視覺系統(tǒng)分析處理晶圓圖像，并進行計算已達到精確控制轉(zhuǎn)臺調(diào)整角度，以及準(zhǔn)確移動二軸定位平臺將晶圓第一點芯粒定位到指定位置，這樣可以大大縮短上片對片的時間，取代人工上片的過程，有效提高了精度和效率，降低誤差，提升了優(yōu)良率。

附圖說明

圖1是本新型的視圖。

具體實施方式

圖1所示的一種探針臺的晶圓芯粒自動對準(zhǔn)裝置，包括晶圓探針臺和視覺系統(tǒng)兩部分。本新型所述的晶圓探針臺，包括X軸和Y軸定位平臺3和4，及其上裝有的X軸和Y軸驅(qū)動電機5和11，在所述Y軸定位平臺4上安裝有轉(zhuǎn)臺2，及安裝在控制轉(zhuǎn)臺2上的旋轉(zhuǎn)電機10，該轉(zhuǎn)臺2上設(shè)置承片臺1。本新型的承片臺1上具有真空吸附組件（圖中為示意），并安裝在X軸定位平臺3的上方。因此，操作過程中，通過轉(zhuǎn)臺2上的旋轉(zhuǎn)電機10控制承片臺1進行角度調(diào)整。本新型中的X軸定位平臺3上的X軸驅(qū)動電機5控制承片臺1在X軸及Y軸兩個方向運動。本實施例所述的視覺系統(tǒng)，包括工控機8，及與工控機8連接的支撐臂12，該支撐臂12上安裝有CCD攝像機9及CCD攝像機9連接的鏡頭6和安裝在鏡頭6上的LED光源7組成，本實施例所述的LED光源7分布于鏡頭6的周圍，并由CCD攝像機9通過數(shù)據(jù)傳輸線與工控機8控制系統(tǒng)連接。利用視覺系統(tǒng)對準(zhǔn)晶圓探針臺，通過LED光源7輔助照明，及視覺系統(tǒng)中的鏡頭及CCD攝像機采集晶圓探針臺上的晶圓圖像信息，并傳送給工控機進行處理，及發(fā)送相應(yīng)的運動指令給晶圓探針臺，控制它們的運動。

上述中，所述的X軸和Y軸驅(qū)動電機5和11為脈沖方式驅(qū)動的步進電機。

主要功能：

1、將晶圓放到承片臺1上，自動對位裝置中的視覺系統(tǒng)通過CCD攝像機9圖像采集部分采集承片臺1上的晶圓圖像，將圖像信息傳送給工控機8。

2、在上述基礎(chǔ)上，視覺系統(tǒng)中的工控機8處理圖像信息，并生成自動對位指令。

3、過程結(jié)束后，視覺系統(tǒng)中的工控機8將指令發(fā)送給轉(zhuǎn)臺2及X軸及Y軸定位平臺3和4，控制承片臺1運動，將該點移動指定位置，實現(xiàn)自動對位功能。