[實用新型]等離子真空泵

有效

• 申請號: 201420555116.7
• 申請日: 2014-09-25
• 公開（公告）號: CN204102852U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 徐建寧
• 申請（專利權）人: 徐建寧
• 主分類號: H01J37/16
• 分類號: H01J37/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種等離子真空泵，具體涉及高真空除氣領域。

背景技術

目前使用的分子泵是依靠渦輪組的高速旋轉使被抽氣體的動能增加，從而達到除氣的目的；由于渦輪組是剛性結構，對被抽氣體的初始壓力要求非常高：一般在5Pa左右才能夠工作，而且不耐大氣沖擊；如果分子泵一旦受大氣沖擊很可能損壞，甚至無法修復。

發明內容

本發明提供一種等離子真空泵，它是將電子發射環、旋轉線圈套裝在玻璃泵體的外壁，在玻璃泵體兩頭焊接有進排氣管；進氣管用于與被抽容器連接，排氣管用于與前級真空泵連接；利用電子發射環將進入玻璃泵體內的氣體部分電離形成等離子氣體，等離子氣體在旋轉線圈形成的旋轉磁場中高速旋轉；由于氣體的粘滯作用，等離子氣體帶動未能電離的氣體分子一起高速旋轉形成渦流產生中心真空區進行除氣。由于等離子氣體在旋轉磁場中高速旋轉沒有機械運動部件，沒有振動、結構簡單、能耗低、耐大氣沖擊。

本發明是由如下技術方案實現的：一種等離子真空泵、包括外殼、套裝在外殼內的玻璃泵體、與玻璃泵體連接的進氣管和排氣管、套裝在玻璃泵體上的電子發射環和旋轉線圈、為電子發射環供電的高頻發生器、為旋轉線圈供電的調頻電路；其特征在于：所述的玻璃泵體是將石英玻璃管制成瓶膽狀，玻璃泵體的兩頭焊接有進氣管和排氣管；所述的排氣管焊接在玻璃泵體的徑向；所述的電子發射環套裝在玻璃泵體的前部；所述的旋轉線圈套裝在玻璃泵體的中后部；將套裝電子發射環和旋轉線圈的玻璃泵體套入外殼內；所述的電子發射環與高頻發生器連接；所述的旋轉線圈與變頻器連接。

所述的外殼由上下兩截鋁套連接而成，外殼與玻璃泵體和進排氣管之間的結合部位設置護墊。

所述的旋轉線圈是由具有6個內凸極磁環上嵌裝6只漆包線繞組的組成，6只繞組與三相的變頻器連接。

本發明的積極效果

1.利用等離子氣體在旋轉磁場中高速旋轉使被抽氣體的動能增加，沒有機械運動部件，沒有振動、能耗低。

2.無須潤滑油故沒有油氣污染。

3.耐大氣沖擊、壓縮比高、被抽氣體的初始壓力高，在約2000Pa時即可工作。

4.被抽氣體在離子態時溫度升高有利于除氣且真空度高，理論上能達到10﹣¹²Pa；

5.結構簡單、成本低。

附圖說明

下面結合附圖對本發明進一步詳細說明。

圖1為本發明的結構示意圖。

圖2為圖1的A-A剖左視圖。

圖3為本發明的排氣工藝流程圖。

圖中：1、外殼，2、護墊，3、玻璃泵體，4、進氣管，5、排氣管，6、電子發射環，7、高頻發生器，8、旋轉線圈，8-1、磁環，8-2、繞組，9、變頻器，10、前級真空泵。

具體實施方式

如圖1、2所示：一種等離子真空泵、包括外殼1、套裝在外殼內的玻璃泵體3、與玻璃泵體3連接的進氣管4和排氣管5、套裝在玻璃泵體3上的電子發射環6和旋轉線圈8、為電子發射環6供電的高頻發生器7、為旋轉線圈8供電的變頻器9；其特征在于：所述的玻璃泵體3是將石英玻璃管制成瓶膽狀，玻璃泵體3的兩頭焊接有進氣管4和排氣管5；所述的排氣管5焊接在玻璃泵體3的徑向；所述的電子發射環6套裝在玻璃泵體3的前部；所述的旋轉線圈8套裝在玻璃泵體3的中后部；將套裝電子發射環6和旋轉線圈8的玻璃泵體3套入外殼1內；所述的電子發射環6與高頻發生器7連接；所述的旋轉線圈8與變頻器9連接。

如圖1所示：所述的外殼1由上下兩截鋁套連接而成，外殼1與玻璃泵體3和進氣管4以及排氣管5之間的結合部位設置護墊2。

如圖1、2所示：所述的旋轉線圈8是由具有6個內凸極磁環8-1上嵌裝6只漆包線的繞組8-2組成，6只繞組8-2與三相的變頻器9連接。

如圖3所示：所述的等離子真空泵的排氣管4與前級泵10連接，通過前級泵10將等離子真空泵內的超低壓氣體排入大氣。

如圖1、2、3所示；所述的電子發射環6將進入玻璃泵體3內的氣體部分電離，等離子氣體在旋轉線圈8的作用下在玻璃泵體3內旋轉，沒有機械運動部件，沒有振動、耐大氣沖擊、壓縮比高，被抽氣體的初始壓力高：約2000Pa時即可工作。