[實(shí)用新型]等離子真空泵有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420555116.7 | 申請(qǐng)日： | 2014-09-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN204102852U | 公開（公告）日： | 2015-01-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐建寧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 徐建寧 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/16 | 分類號(hào)： | H01J37/16 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 210000 江蘇省南京市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 等離子 真空泵 | ||
1.一種等離子真空泵、包括外殼(1)、套裝在外殼內(nèi)的玻璃泵體(3)、與玻璃泵體(3)連接的進(jìn)氣管(4)和排氣管(5)、套裝在玻璃泵體(3)上的電子發(fā)射環(huán)(6)和旋轉(zhuǎn)線圈(8)、為電子發(fā)射環(huán)(6)供電的高頻發(fā)生器(7)、為旋轉(zhuǎn)線圈(8)供電的變頻器(9)；其特征在于：所述的玻璃泵體(3)是將石英玻璃管制成瓶膽狀，玻璃泵體(3)的兩頭焊接有進(jìn)氣管(4)和排氣管(5)；所述的排氣管(5)焊接在玻璃泵體(3)的徑向；所述的電子發(fā)射環(huán)(6)套裝在玻璃泵體(3)的前部；所述的旋轉(zhuǎn)線圈(8)套裝在玻璃泵體(3)的中后部；將套裝電子發(fā)射環(huán)(6)和旋轉(zhuǎn)線圈(8)的玻璃泵體(3)套入外殼(1)內(nèi)；所述的電子發(fā)射環(huán)(6)與高頻發(fā)生器(7)連接；所述的旋轉(zhuǎn)線圈(8)與變頻器(9)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子真空泵，其特征在于：所述的外殼(1)由上下兩截鋁套連接而成，外殼(1)與玻璃泵體(3)和進(jìn)氣管(4)以及排氣管(5)之間的結(jié)合部位設(shè)置護(hù)墊(2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子真空泵，其特征在于：所述的旋轉(zhuǎn)線圈(8)是由具有6個(gè)內(nèi)凸極磁環(huán)(8-1)上嵌裝6只漆包線的繞組(8-2)組成，6只繞組(8-2)與三相的變頻器(9)連接。
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