[實用新型]金屬晶舟盒固定裝置及晶舟盒推車有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420553855.2 | 申請日： | 2014-09-24 |
| 公開（公告）號： | CN204155913U | 公開（公告）日： | 2015-02-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 歐陽婧;徐波;趙娟 | 申請（專利權(quán)）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金屬 晶舟盒 固定 裝置 推車 | ||
1.一種金屬晶舟盒固定裝置，其特征在于，包括：底座、底板及護欄，其中，所述底座頂部表面與水平面之間呈預(yù)定夾角，所述底座底部表面固定在所述底板上，所述護欄首尾相連組成方形固定在所述底板的上方，并與所述底板之間保持預(yù)定高度。
2.如權(quán)利要求1所述的金屬晶舟盒固定裝置，其特征在于，還包括：多個卡扣，所述卡扣固定在所述底板上。
3.如權(quán)利要求2所述的金屬晶舟盒固定裝置，其特征在于，所述卡扣為四個。
4.如權(quán)利要求1所述的金屬晶舟盒固定裝置，其特征在于，所述底座上表面與水平面之間的預(yù)定夾角范圍是10度～15度。
5.一種晶舟盒推車，其特征在于，包括：車體、車輪及如權(quán)利要求1至4中所述的任一項金屬晶舟盒固定裝置，其中，所述車輪位于所述車體底面，所述金屬晶舟盒固定裝置固定在所述車體的頂面。
6.如權(quán)利要求5所述的晶舟盒推車，其特征在于，還包括推柄，所述推柄位于所述車體的一側(cè)。
7.如權(quán)利要求5所述的晶舟盒推車，其特征在于，所述車體上設(shè)有多個孔洞。
8.如權(quán)利要求7所述的晶舟盒推車，其特征在于，所述金屬晶舟盒固定裝置通過卡扣和所述孔洞固定在所述車體的頂面。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
