[實用新型]紫外線固化裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420547288.X | 申請日： | 2014-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN204088281U | 公開（公告）日： | 2015-01-07 |
| 發(fā)明（設計）人： | 黃濤;唐麗賢 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 紫外線 固化 裝置 | ||
1.一種紫外線固化裝置，其特征在于，包括：
紫外光源；
腔體，設置于所述紫外光源的下方；
用于承載被照射物的承載臺，設置于所述腔體內(nèi)部；
用于將所述紫外光源發(fā)出的光透射進所述腔體的透光隔板，設置于所述腔體頂部；以及
用于部分阻擋所述紫外光源發(fā)出的光的抗紫外線層，設置于所述透光隔板上。
2.如權(quán)利要求1所述的紫外線固化裝置，其特征在于：所述紫外光源包括一轉(zhuǎn)盤和設置于所述轉(zhuǎn)盤上的燈管。
3.如權(quán)利要求2所述的紫外線固化裝置，其特征在于：所述燈管的數(shù)量為兩根，互相平行排列。
4.如權(quán)利要求1所述的紫外線固化裝置，其特征在于：所述抗紫外線層為圓形，設置于所述透光隔板表面的中部。
5.如權(quán)利要求1所述的紫外線固化裝置，其特征在于：所述抗紫外線層的厚度從其中部到周圍遞減。
6.如權(quán)利要求1所述的紫外線固化裝置，其特征在于：所述透光隔板為石英窗片。
7.如權(quán)利要求1所述的紫外線固化裝置，其特征在于：所述腔體的側(cè)面設置有開口和擋板，所述擋板可活動地連接所述開口。
8.如權(quán)利要求1-7任意一項所述的紫外線固化裝置，其特征在于：所述被照射物為沉積氧化物后的晶圓。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
