[實用新型]提拉桿防抖動系統及激光晶體爐

有效

• 申請號: 201420546349.0
• 申請日: 2014-09-22
• 公開（公告）號: CN204125565U
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 黃晉強;權紀亮
• 申請（專利權）人: 廣州半導體材料研究所
• 主分類號: C30B27/02
• 分類號: C30B27/02
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 王園園;萬志香

技術領域

本實用新型涉及對激光晶體材料領域，特別是涉及一種提拉桿防抖動系統。?

背景技術

目前，隨著光電子技術的發展和應用的日益廣泛，對激光晶體材料質量也提出更高、更新的要求。激光晶體通常采用晶體爐提拉制成，晶體生長過程中與晶體爐的提拉速度、晶轉速度、溫場緊密聯系。由于激光晶體生長周期長，對生長設備的要求極高，在晶體生長過程中晶體爐提拉桿要保持連續穩定的運轉，不能出現任何抖動情況。?

激光晶體多數是在惰性氣氛中生長，傳統的晶體爐頂與提拉桿交界處使用硅膠圈密封，通常在交界處注入一定的潤滑油來減少提拉桿與硅膠圈摩擦引起的提拉桿抖動。在晶體生長后期，由于提拉桿長時間與硅膠圈的摩擦，很容易造成硅膠圈變形，從而引起提拉桿與硅膠圈間的摩擦力不均勻造成抖動現象發生，使生長的晶體產生各種缺陷，直接影響晶體質量的提高。抖動厲害時甚至會使籽晶斷裂，晶體掉入熔體中，對晶體造成致命的影響。?

實用新型內容

基于此，有必要提供一種避免硅膠圈變形，避免提拉桿抖動的提拉桿防抖動系統。?

一種提拉桿防抖動系統，包括密封元件、中空管、提拉桿及用于驅動所述提拉桿升降運動的滑動裝置；?

所述中空管的一端與晶體爐頂部的通孔密封連接，所述中空管的另一端與密封元件的一端密封連接，所述密封元件的另一端與所述滑動裝置密封連接；?

所述提拉桿的一端連接于所述滑動裝置，另一端穿過所述密封元件及中空管，并延伸至晶體爐頂部的通孔內。?

在其中一個實施例中，所述滑動裝置包括中空導軌、匹配于所述中空導軌?的滑塊及驅動所述滑塊升降運動的驅動機構，所述中空導軌固定于所述晶體爐頂部；?

所述提拉桿的一端連接于所述滑塊，所述密封元件為磁流體，所述磁流體、中空管、提拉桿位于所述中空導軌的內部。?

在其中一個實施例中，還包括至少兩個支架，所述中空管的外壁通過所述支架連接于所述中空導軌的內壁。?

在其中一個實施例中，所述支架均勻分布于所述中空管的外側。?

在其中一個實施例中，所述滑動裝置、密封元件、中空管及晶體爐頂部的通孔沿豎直方向依次上下設置。?

在其中一個實施例中，所述中空管的外徑匹配于晶體爐頂部的通孔的內徑。?

在其中一個實施例中，所述提拉桿為圓柱狀。?

在其中一個實施例中，所述中空管為波紋管，所述提拉桿的外徑小于所述波紋管的內徑。?

本實用新型的另一目的在于提供一種一種避免硅膠圈變形，避免提拉桿抖動，晶體的生長質量高的激光晶體爐。?

一種激光晶體爐，包括籽晶桿、熔體爐及旋轉裝置，所述晶體爐頂部具有通孔，還包括所述的提拉桿防抖動系統；?

所述旋轉裝置連接于所述提拉桿且驅動所述提拉桿沿徑向旋轉運動；?

所述中空管的末端與所述晶體爐頂部的通孔密封連接，所述籽晶桿的一端連接于所述提拉桿的末端，籽晶桿另一端的末端設有所述熔體爐。?

在其中一個實施例中，所述滑動裝置、密封元件、中空管、籽晶桿及熔體爐沿豎直方向依次上下設置。?

本實用新型涉及的提拉桿防抖動系統，提供了一種消除激光晶體生長過程中提拉桿抖動的裝置，通過提拉桿與密封元件、中空管的配合，并進一步地通過滑動裝置(中空導軌、滑塊)的配合，使得提拉桿在工作過程中避免了晃動；本實用新型涉及的提拉桿防抖動系統取消傳統晶體爐提拉桿與爐頂交界處使用硅膠密封，采用中空管和密封元件組件密封鏈接，完全消除提拉桿長時間運轉產生的抖動問題，而且投入小，改造方便。?

本實用新型涉及的激光晶體爐采用了提拉桿防抖動系統，采用中空管和密封元件組件密封鏈接，完全消除提拉桿長時間運轉產生的抖動問題，有利于激光晶體質量的提高，而且設備投入小，成本低，改造方便，在操作過程中比較便捷。?

本實用新型涉及的激光晶體爐，很好的解決了傳統晶體爐提拉桿長時間轉動與硅膠摩擦造成硅膠圈變形，避免引起提拉桿與硅膠圈間的摩擦力不均勻造成抖動現象發生，有利于晶體質量的提高。?

附圖說明

圖1為本實用新型實施例激光晶體爐結構示意圖。?

附圖標記說明?

1、滑塊；2、密封元件；3、中空管；4、中空導軌；5、支架；6、提拉桿；7、通孔；8、晶體爐；9、籽晶桿；10、晶體；11、熔體爐。?

具體實施方式