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[實用新型]提拉桿防抖動系統及激光晶體爐有效

專利信息
申請號: 201420546349.0 申請日: 2014-09-22
公開(公告)號: CN204125565U 公開(公告)日: 2015-01-28
發明(設計)人: 黃晉強;權紀亮 申請(專利權)人: 廣州半導體材料研究所
主分類號: C30B27/02 分類號: C30B27/02
代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 代理人: 王園園;萬志香
地址: 510610 廣*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 拉桿 抖動 系統 激光 晶體
【權利要求書】:

1.一種提拉桿防抖動系統,其特征在于,包括密封元件、中空管、提拉桿及用于驅動所述提拉桿升降運動的滑動裝置;?

所述中空管的一端與密封元件的一端密封連接,所述密封元件的另一端與所述滑動裝置密封連接;?

所述提拉桿的一端連接于所述滑動裝置,另一端穿過所述密封元件及中空管,并延伸至晶體爐頂部的通孔內。?

2.根據權利要求1所述的提拉桿防抖動系統,其特征在于,所述滑動裝置包括中空導軌、匹配于所述中空導軌的滑塊及驅動所述滑塊升降運動的驅動機構,所述中空導軌固定于所述晶體爐頂部;?

所述提拉桿的一端連接于所述滑塊,所述密封元件為磁流體,所述磁流體、中空管、提拉桿位于所述中空導軌的內部。?

3.根據權利要求2所述的提拉桿防抖動系統,其特征在于,還包括至少兩個支架,所述中空管的外壁通過所述支架連接于所述中空導軌的內壁。?

4.根據權利要求3所述的提拉桿防抖動系統,其特征在于,所述支架均勻分布于所述中空管的外側。?

5.根據權利要求1-4任意一項所述的提拉桿防抖動系統,其特征在于,所述滑動裝置、密封元件、中空管及晶體爐頂部的通孔沿豎直方向依次上下設置。?

6.根據權利要求1-4任意一項所述的提拉桿防抖動系統,其特征在于,所述中空管的外徑匹配于晶體爐頂部的通孔的內徑。?

7.根據權利要求1-4任意一項所述的提拉桿防抖動系統,其特征在于,所述提拉桿為圓柱狀。?

8.根據權利要求7所述的提拉桿防抖動系統,其特征在于,所述中空管為波紋管,所述提拉桿的外徑小于所述波紋管的內徑。?

9.一種激光晶體爐,包括籽晶桿、熔體爐及旋轉裝置,所述晶體爐頂部具有通孔,其特征在于,還包括權利要求1-8任意一項所述的提拉桿防抖動系統;?

所述旋轉裝置連接于所述提拉桿且驅動所述提拉桿沿徑向旋轉運動;?

所述中空管的末端與所述晶體爐頂部的通孔密封連接,所述籽晶桿的一端連接于所述提拉桿的末端,籽晶桿另一端的末端設有所述熔體爐。?

10.根據權利要求9所述的激光晶體爐,其特征在于,所述滑動裝置、密封元件、中空管、籽晶桿及熔體爐沿豎直方向依次上下設置。?

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