[實用新型]標準機械界面的保護裝置以及標準機械界面有效
| 申請號： | 201420546190.2 | 申請日： | 2014-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN204243013U | 公開（公告）日： | 2015-04-01 |
| 發明（設計）人： | 丁杰 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 標準 機械 界面 保護裝置 以及 | ||
1.一種標準機械界面的保護裝置，其特征在于，包括保護蓋、滑軌和滑塊，所述保護蓋分為內保護蓋與外保護蓋，在所述外保護蓋的內表面上設置有滑軌，所述內保護蓋的外表面上設置有滑塊，所述滑塊能夠沿所述滑軌滑動，實現所述外保護蓋的升降。
2.如權利要求1所述的標準機械界面的保護裝置，其特征在于，所述滑軌兩側的中部向內形成凹陷。
3.如權利要求2所述的標準機械界面的保護裝置，其特征在于，所述滑軌在寬度方向上的截面呈工字型。
4.如權利要求3所述的標準機械界面的保護裝置，其特征在于，所述滑軌與所述外保護蓋接觸的表面的寬度大于與之相對的遠離外保護蓋的表面的寬度。
5.如權利要求4所述的標準機械界面的保護裝置，其特征在于，所述滑軌的整體厚度為2mm～4mm；所述滑軌兩側向內凹陷部分的厚度為0.4mm～0.6mm；與所述滑軌的遠離外保護蓋的表面相比，所述滑軌兩側向內凹陷部分的深度為1mm～3mm。
6.如權利要求2所述的標準機械界面的保護裝置，其特征在于，所述滑塊是中空結構，并具有一開口，所述滑塊的邊緣兩側分別嵌于所述滑軌的凹陷處。
7.如權利要求6所述的標準機械界面的保護裝置，其特征在于，所述滑塊在寬度方向上的截面呈凹字型。
8.如權利要求7所述的標準機械界面的保護裝置，其特征在于，所述滑塊的尺寸與所述滑軌的尺寸相匹配。
9.如權利要求8所述的標準機械界面的保護裝置，其特征在于，所述滑塊開口部分的寬度為5mm～7mm。
10.一種標準機械界面，包括如權利要求1至9中任一項的標準機械界面的保護裝置。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
