[實(shí)用新型]一種硅片冷卻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420510176.7
• 申請(qǐng)日: 2014-09-05
• 公開（公告）號(hào): CN204076548U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 靳達(dá)興;張建;狄紅祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中衛(wèi)市銀陽新能源有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/02
• 分類號(hào): B28D7/02
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32231
• 代理人: 張榮

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)加工領(lǐng)域，特別是，涉及一種硅片冷卻裝置。

背景技術(shù)

硅片的切割過程中，會(huì)產(chǎn)生大量的熱量，導(dǎo)致砂漿內(nèi)的硅與水會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，造成砂漿的粘度急劇升高，而流動(dòng)性降低，從而使得砂漿夾在相鄰兩硅片之間不容易滴落并逐漸累積，在硅棒兩端產(chǎn)生較大的側(cè)向力，使硅片容易產(chǎn)生外張崩邊，甚至?xí)l(fā)生斷片的嚴(yán)重事故。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片冷卻裝置，通過冷卻槽的設(shè)計(jì)，降低切割裝置內(nèi)溫度，減少高溫對(duì)砂漿的影響，從而克服砂漿積累對(duì)硅片的影響，提高了切割硅片的質(zhì)量，通過提高成品率進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本。

為解決上述問題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下：

一種硅片冷卻裝置，包括工件板和用于固定連接硅塊的玻璃板，所述玻璃板粘接在工件板一側(cè)，所述工件板與玻璃板粘接面上設(shè)有冷卻槽。

優(yōu)選的，所述冷卻槽兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口。

優(yōu)選的，所述冷卻槽內(nèi)設(shè)有冷卻管，所述冷卻管在冷卻槽兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口。

優(yōu)選的，所述冷卻管為金屬管。

優(yōu)選的，所述冷卻槽為平行設(shè)置的直線型槽。

優(yōu)選的，所述冷卻槽為平行設(shè)置的S型槽。

相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果在于：

本實(shí)用新型通過冷卻槽的設(shè)計(jì)，降低切割裝置內(nèi)溫度，減少高溫對(duì)砂漿的影響，從而克服砂漿積累對(duì)硅片的影響，提高了切割硅片的質(zhì)量，通過提高成品率進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型硅片冷卻裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中工件板上直線型槽結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型中工件板上S型槽結(jié)構(gòu)示意圖；

其中，1?為工件板，2?為玻璃板，3?為冷卻槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖1所示，為一種硅片冷卻裝置，包括工件板1、和用于固定連接硅塊的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板1一側(cè)，工件板1與玻璃板2粘接面上設(shè)有冷卻槽3，冷卻槽3兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口。

實(shí)施例1

硅片冷卻裝置包括工件板1、和用于固定連接硅塊的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板1一側(cè)，工件板1與玻璃板2粘接面上設(shè)有平行設(shè)置的直線型冷卻槽3，冷卻槽3內(nèi)設(shè)有金屬冷卻管，冷卻管在冷卻槽3兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口；工件板1和玻璃板2之間采用粘玻璃膠相互粘接，玻璃板2和硅塊之間采用粘棒膠相粘接。

實(shí)施例2

硅片冷卻裝置包括工件板1、和用于固定連接硅塊的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板1一側(cè)，工件板1與玻璃板2粘接面上設(shè)有平行設(shè)置的S型冷卻槽3，冷卻槽3內(nèi)設(shè)有金屬冷卻管，冷卻管在冷卻槽3兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口；工件板1和玻璃板2之間采用粘玻璃膠相互粘接，玻璃板2和硅塊之間采用粘棒膠相粘接。

對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。