[實用新型]一種硅片冷卻裝置有效
| 申請號： | 201420510176.7 | 申請日： | 2014-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN204076548U | 公開（公告）日： | 2015-01-07 |
| 發明（設計）人： | 靳達興;張建;狄紅祥 | 申請（專利權）人： | 中衛市銀陽新能源有限公司 |
| 主分類號： | B28D7/02 | 分類號： | B28D7/02 |
| 代理公司： | 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 張榮 |
| 地址： | 755000 寧夏回族*** | 國省代碼： | 寧夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 冷卻 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片冷卻裝置，其特征在于：包括工件板(1)和用于固定連接硅塊的玻璃板(2)，所述玻璃板(2)粘接在工件板(1)一側，所述工件板(1)與玻璃板(2)粘接面上設有冷卻槽(3)。
2.如權利要求1所述的硅片冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻槽(3)兩端設有冷卻液進出口。
3.如權利要求2所述的硅片冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻槽(3)內設有冷卻管，所述冷卻管在冷卻槽(3)兩端設有冷卻液進出口。
4.如權利要求3所述的硅片冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻管為金屬管。
5.如權利要求1-4任一項所述的硅片冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻槽(3)為平行設置的直線型槽。
6.如權利要求1-4任一項所述的硅片冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻槽(3)為平行設置的S型槽。
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