[實用新型]適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置

有效

• 申請號: 201420479170.8
• 申請日: 2014-08-22
• 公開（公告）號: CN204178122U
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發明（設計）人: 代毓平;代童慶
• 申請（專利權）人: 深圳市大川光電設備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 王丹鳳

技術領域

本實用新型涉及曝光機使用技術領域，尤其涉及一種適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置。?

背景技術

在批量生產印制電路板過程中，是經過紫外線曝光，使所需的電路圖形通過菲林轉移到工件上，如果菲林和工件間有間隙或氣泡，就會引起圖形失真，造成曝光不良，為此數十年來，行業內都是采用抽真空形成負壓，使玻璃受壓或變形來達到菲林和工件的貼合，但始終存在如下的問題：1、抽真空的時間過長，使生產效率變低；2、由于貼有菲林的玻璃易碎，所以真空度不能過高，這就使得變形應力較大的工件與菲林不能形成良好的貼合，另外，必需用不同的墊片(對不同的工件)去填平真空腔的其余部分，以避免玻璃不被抽爆，費時費工，不適應自動化生產；3、由于工件的上下兩面同時與高剛性的平臺和玻璃接觸，玻璃本身(與工件接觸面)和鋁合金平臺的不平和凹陷就會造成貼合不良，也很難通過調節真空度來改善貼合的均勻度。?

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置，該運用在影像轉移曝光機的菲林與工件密著?方法可以在吹氣條件下使得影像轉移曝光機中的菲林和工件緊密貼合，避免將玻璃板壓碎，吹氣時間短，吹氣的氣壓可以無限制增大，生產效率高，自動化程度高。?

為解決抽真空密著存在的上述技術問題，本實用新型提供的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置包括包括裝置本體、容置于所述裝置本體中的控制組件、菲林、多孔材料介質層、裝設于所述裝置本體上的玻璃板，工件放置在所述多孔材料介質層的上表面，在多孔材料介質層的下部設置有與所述多孔材料介質層緊密貼合的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃板上部設置有第一驅動機構，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述平臺與空氣泵相連，在所述平臺下部設置有調整所述工件與菲林之間距離和平行度的第二驅動機構，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述的多孔材料介質層上開設有若干分布均勻貫穿于上下兩端面的細微小孔，通過對所述平臺的充氣使其在所述多孔材料介質層表面形成均勻的浮壓力，迫使所述工件與菲林緊密貼合。?

優選地，所述第二驅動機構包括四個可單獨升降并用于調整所述工件與平之間距離與平行度的電缸及三個激光位移傳感器，各所述升降的電缸設置于所述平臺下部。?

優選地，所述適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置還包括用于將所述工件抓取放置或移出所述平臺上表面的機械手。?

優選地，所述多孔材料介質層由陶瓷或鋁金屬材料組成，空氣能從其分布均勻的細微小孔形成氣浮和吸附。?

優選地，所述第一驅動機構采用伺服控制，所述玻璃板可相對于所述裝置本體沿X、Y移動及圓周轉動。?

優選地，所述第一驅動機構包括機構本體、容置于所述機構本體內的控制組件、裝設于所述機構本體上的X軸絲桿、與所述X軸絲桿裝配在一起的X軸絲桿座、裝設于所述X軸絲桿座上的Y軸絲桿、與所述Y軸絲桿裝配在一起Y軸絲桿座、裝設于所述Y軸絲桿座上用于驅動所述玻璃板做圓周轉動的第三伺服電機，用于驅動所述X軸絲桿轉動的第一伺服電機、用于驅動所述Y軸絲桿轉動的第二伺服電機、所述玻璃板與所述第三伺服電機裝配在一起。?

優選地，所述平臺的下端面開設有一進氣口，其上端面開設有若干與所述細微小孔相對應的氣孔，所述進氣口與各所述氣孔連通，所述進氣口與所述空氣泵相連。?

優選地，所述空氣泵對所述工件的吹氣壓力可無限增大。?

采用上述結構之后，將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件放置在所述多孔材料介質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工件與菲林的位置是否初步對準；CCD攝像頭對所述工件的四個定位孔與菲林的靶標進行找正，通過第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現所述菲林與所述工件的準確對位，所述空氣泵吹氣，通過所述細微小孔對所述工件進行吹氣，所產生的均勻氣浮壓力使所述工件與菲林緊密貼合，檢測所述工件與所述菲林是否貼合到位，如?果貼合到位，紫外光開始曝光，將所述菲林上面的影像轉移到所述工件上。該密著方法的優點是：?

1、該密著方法形成氣浮正壓力的時間較形成真空負壓時間縮短數倍，能顯著提高生產效率；?

2、貼合的正壓力可以無限制增大，并且可分別通過支撐平臺的四個電缸的升降來調節工件與菲林間距的一致性，以改善貼合的均勻性；?

3、由于密著時，工件與平臺無接觸，且是柔性工件變形去適應玻璃，所以平臺和玻璃的凹陷等對貼合效果影響較小；?