[實用新型]適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置

有效

• 申請號: 201420479170.8
• 申請日: 2014-08-22
• 公開（公告）號: CN204178122U
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發明（設計）人: 代毓平;代童慶
• 申請（專利權）人: 深圳市大川光電設備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 王丹鳳

1.適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置，其特征在于：包括裝置本體、容置于所述裝置本體中的控制組件、菲林、多孔材料介質層、裝設于所述裝置本體上的玻璃板，工件放置在所述多孔材料介質層的上表面，在多孔材料介質層的下部設置有與所述多孔材料介質層緊密貼合的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃板上部設置有第一驅動機構，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述平臺與空氣泵相連，在所述平臺下部設置有調整所述工件與菲林之間距離和平行度的第二驅動機構，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述的多孔材料介質層上開設有若干分布均勻貫穿于上下兩端面的細微小孔，通過對所述平臺的充氣使其在所述多孔材料介質層表面形成均勻的氣浮壓力，迫使所述工件與菲林緊密貼合。?

2.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置，其特征在于：所述多孔材料介質層由陶瓷或鋁金屬材料組成，空氣能從其分布均勻的細微氣孔進行氣浮和吸附。?

3.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置，其特征在于：所述第二驅動機構包括四個可單獨升降并用于調整所述工件與平臺之間距離與平行度的電缸及三個激光位移傳感器，各所述升降的電缸設置于所述平臺下部。?

4.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置，其特征在于：所述適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置還包括用于將所述工件抓取放置或移出所述平臺上表面的機械手。?

5.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置，其特征在于：所述第一驅動機構采用伺服控制，所述玻璃板可相對于所述裝置本體沿X、Y移動及圓周轉動。?

6.根據權利要求5所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置，?其特征在于：所述第一驅動機構包括機構本體、容置于所述機構本體內的控制組件、裝設于所述機構本體上的X軸絲桿、與所述X軸絲桿裝配在一起的X軸絲桿座、裝設于所述X軸絲桿座上的Y軸絲桿、與所述Y軸絲桿裝配在一起Y軸絲桿座、裝設于所述Y軸絲桿座上用于驅動所述玻璃板做圓周轉動的第三伺服電機，用于驅動所述X軸絲桿轉動的第一伺服電機、用于驅動所述Y軸絲桿轉動的第二伺服電機、所述玻璃板與所述第三伺服電機裝配在一起。?

7.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置，其特征在于：所述平臺的下端面開設有一進氣口，其上端面開設有若干與所述細微小孔相對應的氣孔，所述進氣口與各所述氣孔連通，所述進氣口與所述空氣泵相連。?

8.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著裝置，其特征在于：所述空氣泵對所述工件的吹氣壓力可無限增大。?