[實用新型]一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置及光刻投影鏡頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420474110.7
• 申請日: 2014-08-22
• 公開（公告）號: CN204009187U
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設計）人: 勞克特夫·米歇爾
• 申請（專利權）人: 邢臺先騰光電科技有限公司
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

技術領域

本實用新型涉及光刻機鏡頭固定技術領域，特別是涉及一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置及光刻投影鏡頭。

背景技術

光刻投影鏡頭需要將鏡頭中的每個鏡片精確定位，位置精度需要達到微米甚至是亞微米的水平，同時，傾斜偏差度度要小于一微米。為了保證該安裝精度，傳統(tǒng)的對光刻投影鏡頭進行定位和調(diào)整時所采用的設備一般較為復雜、調(diào)節(jié)繁瑣，且價格昂貴，這對光影鏡頭的發(fā)展造成了嚴重影響。

實用新型內(nèi)容

為此，本實用新型要解決的技術問題是提供一種結構簡單、便于調(diào)節(jié)，且成本低廉的用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置及使用該裝置組裝成的光刻投影鏡頭。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置，其包括圓環(huán)形的本體，所述本體的內(nèi)側面設有用于放置鏡片的第一凸臺，所述第一凸臺為圓環(huán)形凸臺，所述第一凸臺的上表面支撐所述鏡片下表面的周邊位置，所述本體內(nèi)側面上還設置有第二凸臺，所述第二凸臺設置在所述第一凸臺上方，所述第一凸臺的外徑等于所述第二凸臺的內(nèi)徑，所述本體的端面上設有用于將相鄰兩個本體連成一體的連接部。

優(yōu)選的，所述連接部包括設置在所述本體端面上的螺釘孔和安裝孔，所述安裝孔內(nèi)設有用于支撐螺釘端部的凸臺，所述螺釘穿過所述安裝孔與相鄰的所述本體上的螺釘孔螺紋配合。

優(yōu)選的，所述螺釘孔和所述安裝孔的圓心與所述本體的圓心之間距離相等，且所述螺釘孔與所述安裝孔均勻間隔布置。

優(yōu)選的，所述第二凸臺的內(nèi)側壁上沿周向設置有若干個向所述第二凸臺內(nèi)凹入的凹槽，所述凹槽的豎向設置，且所述凹槽延伸至與所述第一凸臺的上表面齊平。

優(yōu)選的，所述凹槽的型腔呈半圓柱形結構。

優(yōu)選的，所述凹槽沿著所述第二凸臺的內(nèi)側面周向均勻間隔布置。

一種光刻投影鏡頭，所述鏡頭上設置有若干個依次間隔同軸設置的鏡片，每一個所述鏡片固定在一個上述任一項所述的用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置上，所述用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置的直徑及厚度大小與所述鏡片的形狀匹配，且所述鏡片與所述本體上的第一凸臺之間固定連接。

優(yōu)選的，所述鏡片與所述第一凸臺之間膠接連接，且所述膠接連接采用的是低收縮度膠水。

優(yōu)選的，所述低收縮度膠水為環(huán)氧樹脂膠。

優(yōu)選的，所述低收縮度膠水為紫外粘合膠。

本實用新型的有益效果：

本實用新型的用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置結構簡單，制造成本較低，且在裝配過程中便于調(diào)整傾斜度和鏡片玻璃的位置，因此更實用且有助于光刻投影鏡頭的推廣使用。

附圖說明

為了使實用新型的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本實用新型的具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中：

圖1是本實用新型的用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置的結構示意圖；

圖2是實用新型的光刻投影鏡頭的結構示意圖。

圖中附圖標記表示為：

1-本體；2-第一凸臺；3-螺釘孔；4-安裝孔；5-凹槽；6-第二凸臺；7-螺釘；8-鏡片。

具體實施方式

實施例一

參見圖1、圖2，一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置，其包括圓環(huán)形的本體1，所述本體1的內(nèi)側面設有用于放置鏡片8的第一凸臺2，所述第一凸臺2為圓環(huán)形凸臺，所述第一凸臺2的上表面支撐所述鏡片8下表面的周邊位置，且所述第一凸臺2的上表面與安裝在該處的鏡片曲度匹配，所述本體1內(nèi)側面上還設置有第二凸臺6，進而便于組裝，所述第二凸臺6設置在所述第一凸臺2上方，所述第一凸臺2的外徑等于所述第二凸臺6的內(nèi)徑，所述本體1的端面上設有用于將相鄰兩個本體1連成一體的連接部。

本實施例中，所述連接部包括設置在所述本體1端面上的螺釘孔3和安裝孔4，所述安裝孔4內(nèi)設有用于支撐螺釘7端部的凸臺，所述螺釘7穿過所述安裝孔4與相鄰的所述本體1上的螺釘孔3螺紋配合，為了在裝配式便于定位，所述安裝孔4的內(nèi)徑大于所述螺釘孔3的內(nèi)徑。所述螺釘孔3和所述安裝孔4的圓心與所述本體1的圓心之間距離相等，且所述螺釘孔3與所述安裝孔4均勻間隔布置，這種設置方式便于組裝鏡頭時將安裝孔4正對螺釘孔3，進而便于將相鄰的兩個本體1連接起來。