[實用新型]一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置及光刻投影鏡頭

有效

• 申請號: 201420474110.7
• 申請日: 2014-08-22
• 公開（公告）號: CN204009187U
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發明（設計）人: 勞克特夫·米歇爾
• 申請（專利權）人: 邢臺先騰光電科技有限公司
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置，其特征在于：包括圓環形的本體(1)，所述本體(1)的內側面設有用于放置鏡片(8)的第一凸臺(2)，所述第一凸臺(2)為圓環形凸臺，所述第一凸臺(2)的上表面支撐所述鏡片(8)下表面的周邊位置，所述本體(1)內側面上還設置有第二凸臺(6)，所述第二凸臺(6)設置在所述第一凸臺(2)上方，所述第一凸臺(2)的外徑等于所述第二凸臺(6)的內徑，所述本體(1)的端面上設有用于將相鄰兩個本體(1)連成一體的連接部。

2.根據權利要求1所述的一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置，其特征在于：所述連接部包括設置在所述本體(1)端面上的螺釘孔(3)和安裝孔(4)，所述安裝孔(4)內設有用于支撐螺釘(7)端部的凸臺，所述螺釘(7)穿過所述安裝孔(4)與相鄰的所述本體(1)上的螺釘孔(3)螺紋配合。

3.根據權利要求2所述的一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置，其特征在于：所述螺釘孔(3)和所述安裝孔(4)的圓心與所述本體(1)的圓心之間距離相等，且所述螺釘孔(3)與所述安裝孔(4)均勻間隔布置。

4.根據權利要求3所述的一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置，其特征在于：所述第二凸臺(6)的內側壁上沿周向設置有若干個向所述第二凸臺(2)內凹入的凹槽(5)，所述凹槽(5)豎向設置，且所述凹槽(5)延伸至與所述第一凸臺(2)的上表面齊平。

5.根據權利要求4所述的一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置，其特征在于：所述凹槽(5)的型腔呈半圓柱形結構。

6.根據權利要求5所述的一種用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置，其特征在于：所述凹槽(5)沿著所述第二凸臺(6)的內側面周向均勻間隔布置。

7.一種光刻投影鏡頭，所述鏡頭上設置有若干個依次間隔同軸設置的鏡片(8)，其特征在于：每一個所述鏡片(8)固定在一個上述權利要求1-6任一所述的用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置上，所述用于固定光刻投影鏡頭中鏡片的裝置的直徑及厚度大小與所述鏡片(8)的形狀匹配，且所述鏡片(8)與所述本體(1)上的第一凸臺(2)之間固定連接。

8.根據權利要求7所述的一種光刻投影鏡頭，其特征在于：所述鏡片(8)與所述第一凸臺(2)之間膠接連接，且所述膠接連接采用的是低收縮度膠水。

9.根據權利要求8所述的一種光刻投影鏡頭，其特征在于：所述低收縮度膠水為環氧樹脂膠。

10.根據權利要求8所述的一種光刻投影鏡頭，其特征在于：所述低收縮度膠水為紫外粘合膠。