[實用新型]一種掩模板

有效

• 申請號: 201420472732.6
• 申請日: 2014-08-20
• 公開（公告）號: CN204058584U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 王劭顓
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 柴亮;張天舒

技術領域

本實用新型涉及顯示產品的成膜技術領域，具體地，涉及一種掩模板。

背景技術

應用有機電致發光二極管(OLED，Organic?Light-Emitting?Diode)的顯示器也被稱為OLED顯示器或者是有機電致發光顯示器，它是一種新型的平板顯示器，因其具有主動發光、對比度高以及響應速度快等優點，而得到廣泛應用。

在制作OLED顯示器的過程中需要將有機材料蒸鍍到玻璃基板表面，而蒸鍍有機材料的過程中需要采用掩模板，以便在玻璃基板上得到所需的圖案。

目前，掩模板一般采用金屬掩模板，金屬掩模板通常包括框架以及通過該框架支撐的設置有成膜圖案的掩模。框架和掩模的材質一般為Invar(因瓦合金，即含有35.4％鎳的鐵合金)，Invar的膨脹系數為1.2×10^-6℃，密度為8.1g/cm3，熱傳導系數為10W/m.k，比熱為515J/kg，抗拉伸強度為590Mpa，Invar的上述物理特性使其很適合用作掩模板。

為了使設置有成膜圖案的掩模具有較高的平坦度，需要將掩模拉伸后固定在框架上，并通過框架張緊，所以框架需要有能滿足掩模張緊的強度，為此框架通常需要具備一定的厚度和重量。框架的材質一般為Invar或SUS材料，這些材料的密度相對較大。當框架需要對面積較大的掩模進行張緊時，框架本身的重量通常也會比較大，此時，很容易導致機械手在傳送框架時受到限制。

另外，采用Invar的框架對掩模進行張緊支撐形成的掩模板平坦度不高，如掩模表面不同位置的高度差會達到100um～150um。當掩模板尺寸較大時，其平坦度會進一步下降，對成膜工藝產生比較嚴重的陰影影響，從而影響OLED的性能。

同時，掩模板屬于消耗品，當使用一定次數精度下降時，就需要廢棄處理，而Invar材料及加工的價格非常高昂，導致在大規模生產中掩模板的成本在產品成本中占有非常大的比重。

實用新型內容

本實用新型針對現有技術中存在的上述技術問題，提供一種掩模板。該掩模板的重量小于采用因瓦合金材質的掩模板的重量，從而使掩模板傳送和使用起來更加方便；針對尺寸較大的掩模板，重量的減輕還能進一步確保掩模板的平坦度，進而進一步確保掩模板的精密度。

本實用新型提供一種用于成膜的掩模板，包括第一膜層和第二膜層，所述第二膜層覆疊在所述第一膜層上，所述第一膜層采用無紡布或陶瓷板，所述第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠。

優選地，所述第一膜層和所述第二膜層的材質密度均小于8.1g/cm³，膨脹系數均小于1.2×10^-6/℃，熱傳導系數均小于10W/m·k。

優選地，所述無紡布的耐受溫度范圍為400℃以內，所述陶瓷板的耐受溫度范圍為1400℃以內。

優選地，所述無紡布采用聚酰亞胺纖維、聚苯硫醚纖維、熱塑性彈性體纖維、熱塑性聚烯烴纖維、熱熔接性復合纖維、麻纖維、粘結纖維、銀纖維、環氧類化合物的聚乳酸纖維、碳纖維、烯烴系聚合物、滌綸化纖、錦綸化纖、粘膠化纖、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纖維、芳香族聚酯、棉纖維和絲纖維中的任意一種材料。

優選地，所述第二膜層的厚度范圍為1-1000μm。

優選地，還包括覆疊在所述第二膜層上的第三膜層，所述第三膜層采用UV固化膠或熱固化膠。

優選地，所述掩模板上設置有鏤空的成膜圖案，對應在所述成膜圖案的邊緣，所述第三膜層完全包覆所述第一膜層和所述第二膜層。

優選地，所述第三膜層的厚度范圍為50-3000μm。

優選地，其特征在于，所述熱固化膠的固化溫度范圍為10℃-200℃。

優選地，還包括粘貼層，所述粘貼層設置在所述第一膜層的背對所述第二膜層的一側，且位于所述第一膜層的邊緣。

本實用新型的有益效果：本實用新型所提供的掩模板，通過使掩模板的第一膜層采用無紡布或陶瓷板，第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材質的掩模板的重量，從而使掩模板傳送和使用起來更加方便；針對尺寸較大的掩模板，重量的減輕還能進一步確保掩模板的平坦度，進而進一步確保掩模板的精密度；同時，上述膜層材質的掩模板能使其不容易發生受熱形變，從而保證了掩模板成膜的精密度。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例1中掩模板的結構俯視圖；

圖2為圖1中掩模板沿A1A2剖切線進行剖切的剖視圖。

其中的附圖標記說明：