[實用新型]一種掩模板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420472732.6
• 申請日: 2014-08-20
• 公開（公告）號: CN204058584U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王劭顓
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 柴亮;張?zhí)焓?/td>

1.一種用于成膜的掩模板，包括第一膜層和第二膜層，所述第二膜層覆疊在所述第一膜層上，其特征在于，所述第一膜層采用無紡布或陶瓷板，所述第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一膜層和所述第二膜層的材質(zhì)密度均小于8.1g/cm³，膨脹系數(shù)均小于1.2×10^-6/℃，熱傳導(dǎo)系數(shù)均小于10W/m·k。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述無紡布的耐受溫度范圍為400℃以內(nèi)，所述陶瓷板的耐受溫度范圍為1400℃以內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述無紡布采用聚酰亞胺纖維、聚苯硫醚纖維、熱塑性彈性體纖維、熱塑性聚烯烴纖維、熱熔接性復(fù)合纖維、麻纖維、粘結(jié)纖維、銀纖維、環(huán)氧類化合物的聚乳酸纖維、碳纖維、烯烴系聚合物、滌綸化纖、錦綸化纖、粘膠化纖、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纖維、芳香族聚酯、棉纖維和絲纖維中的任意一種材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第二膜層的厚度范圍為1-1000μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩模板，其特征在于，還包括覆疊在所述第二膜層上的第三膜層，所述第三膜層采用UV固化膠或熱固化膠。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板上設(shè)置有鏤空的成膜圖案，對應(yīng)在所述成膜圖案的邊緣，所述第三膜層完全包覆所述第一膜層和所述第二膜層。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩模板，其特征在于，所述第三膜層的厚度范圍為50-3000μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述熱固化膠的固化溫度范圍為10℃-200℃。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，還包括粘貼層，所述粘貼層設(shè)置在所述第一膜層的背對所述第二膜層的一側(cè)，且位于所述第一膜層的邊緣。