[實(shí)用新型]一種液體供應(yīng)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420470070.9
• 申請(qǐng)日: 2014-08-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204007056U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董明;肖方
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F26B21/14
• 分類(lèi)號(hào): F26B21/14
• 代理公司: 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，至少包含：

第一連通管、第二連通管、第一開(kāi)關(guān)閥、第二開(kāi)關(guān)閥、供應(yīng)槽、補(bǔ)給槽、第一供液管、傳感器控制閥、氮?dú)夤堋⒅Ч堋⒌谝粋鞲衅骱偷诙鞲衅鳎?/p>

其中，所述補(bǔ)給槽上部通過(guò)所述第一連通管與所述供應(yīng)槽上部相連通，所述補(bǔ)給槽底部通過(guò)所述第二連通管與所述供應(yīng)槽底部相連通；所述第一連通管和所述第二連通管上分別設(shè)有所述第一開(kāi)關(guān)閥和所述第二開(kāi)關(guān)閥；

所述第一供液管位于所述補(bǔ)給槽的上方；所述第一供液管靠近所述補(bǔ)給槽的一端設(shè)有所述傳感器控制閥；

所述氮?dú)夤艿囊欢酥糜谒龉?yīng)槽內(nèi)部上方；

所述支管兩端分別連接于所述補(bǔ)給槽中液面的上部和所述補(bǔ)給槽的下部；且所述支管內(nèi)自下而上依次設(shè)置有所述第一傳感器和所述第二傳感器，所述第一傳感器和所述第二傳感器均與所述傳感器控制閥電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述液體供應(yīng)系統(tǒng)還包含第二供液管和浮球控制閥；所述第二供液管位于所述補(bǔ)給槽的上方；所述浮球控制閥設(shè)置于所述第二供液管靠近所述補(bǔ)給槽的一端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：在所述支管內(nèi)所述第一傳感器的下方設(shè)置有第三傳感器；在所述支管內(nèi)所述第二傳感器的上方設(shè)置有第四傳感器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述浮球閥為壓鑄不銹鋼浮球閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述氮?dú)夤苌显O(shè)置一第三開(kāi)關(guān)閥。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述供應(yīng)槽和補(bǔ)給槽內(nèi)的液體為異丙醇。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：還包含兩個(gè)緩沖槽，分別置于所述供應(yīng)槽和補(bǔ)給槽的外圍；所述緩沖槽內(nèi)注入有水，適于為所述供應(yīng)槽和補(bǔ)給槽內(nèi)的液體加熱。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述緩沖槽內(nèi)水的溫度為60℃～80℃。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述緩沖槽內(nèi)水的溫度為70℃。