[實用新型]激光劃片機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420470013.0
• 申請日: 2014-08-18
• 公開（公告）號: CN204094319U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發(fā)明（設計）人: 鄒武兵;張德安;段家露;曾波;余猛
• 申請（專利權）人: 深圳市韻騰激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 王丹鳳

1.激光劃片機，用于對晶圓片進行切割，其特征在于：包括劃片機本體、容置于所述劃片機本體內(nèi)的控制組件、裝設于所述劃片機本體上的切割定位組件、裝設于所述劃片機本體上并與所述切割定位組件相互配合的激光切割機構，所述激光切割機構包括裝設于所述劃片機本體上的激光發(fā)生器、裝設于所述激光發(fā)生器上用于將激光發(fā)生器發(fā)出的激光進行傳送的光路結構、裝設于所述光路結構上用于對晶圓進行切割的切割結構，所述光路結構包括至少一個用于將激光進行擴束的擴束鏡、若干對激光進行反射傳遞的反射鏡。?

2.根據(jù)權利要求1所述的激光劃片機，其特征在于：所述切割定位組件包括裝設于所述激光切割機構上用于對所述晶圓片的切割位置進行檢測的CCD檢測結構、裝設于所述劃片機本體上的與所述CCD檢測結構相互配合的線性運動機構。?

3.根據(jù)權利要求1所述的激光劃片機，其特征在于：所述激光劃片機還包括對所述激光切割機構進行冷卻的冷卻裝置。?

4.根據(jù)權利要求2所述的激光劃片機，其特征在于：所述線性運動機構包括裝設于所述劃片機本體上的X軸移動結構、裝設于所述X軸移動結構上的Y軸移動結構、裝設于所述Y軸移動結構上的用于將所述待切割晶圓片進行吸平的真空陶瓷吸盤，所述X軸移動結構包括第一絲桿、第一絲桿座及用于驅(qū)動所述第一絲桿轉動的第一驅(qū)動電機，所述Y軸移動結構包括第二絲桿、第二絲桿座及用于驅(qū)動所述第二絲桿轉動的第二驅(qū)動電機，所述真空陶瓷吸盤可做圓周轉動，所述控制組件與所述第一驅(qū)動電機及第二驅(qū)動電機電性連接。?

5.根據(jù)權利要求2所述的激光劃片機，其特征在于：所述CCD檢測結構包括裝設于所述激光切割機構上的第一CCD攝像頭、第二CCD攝像頭，裝設于所述第一CCD攝像頭上的用于使CCD攝像頭拍出的晶圓切割點更加?清晰的第一光源，裝設于所述第二CCD攝像頭上的用于使CCD攝像頭拍出的晶圓切割點更加清晰的第二光源。?

6.根據(jù)權利要求1所述的激光劃片機，其特征在于：所述光路結構包括第一反射鏡、第二反射鏡、擴束鏡，所述光路結構內(nèi)部的各部件的裝配順序是：所述擴束鏡裝設于所述激光發(fā)生器前面，所述第一反射鏡裝設于所述擴束鏡面前面，所述第二反射鏡裝設于所述第一反射鏡前面。?

7.根據(jù)權利要求1所述的激光劃片機，其特征在于：所述切割結構包括裝設于所述光路結構上的Z軸移動結構及裝設于所述Z軸移動結構上的激光頭，所述Z軸移動結構包括第三絲桿、第三絲桿座及用于驅(qū)動所述第三絲桿轉動的第三驅(qū)動電機，所述控制組件與所述第三驅(qū)動電機電性連接。?

8.根據(jù)權利要求1所述的激光劃片機，其特征在于：所述控制組件包括：顯示模塊，用于將所述的激光劃片機的性能參數(shù)通過界面顯示；和/或按鍵模塊，用于操縱所述激光劃片機進行工作。?