[實用新型]破裂檢測機構

有效

• 申請號: 201420468448.1
• 申請日: 2014-08-19
• 公開（公告）號: CN204086159U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 劉文明;陳薇云
• 申請（專利權）人: 弘塑科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/958
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;趙根喜

技術領域

本實用新型在于提供一種破裂檢測機構，尤指一種可應用于板材(如玻璃、晶圓等)破裂狀態檢出的破裂檢測機構。

背景技術

現有的工業檢測機構，已知應用于基板或相關制程，業界僅止于對于靜態基板可在對位(Alignment)后，以四個固定式的光電傳感器(Sensor)檢測基板的四個角落的完整性，或是以荷重元(Load?Cell)重量變化比對的方式，以及電荷耦合元件(CCD，Charge-coupled?Device)方式檢測物件狀態。

熟知的晶圓(Wafer)通常可結合于一玻璃(Glass)上，以便利用該玻璃作載板進行相關制程。該晶圓及玻璃完成相關的制程后，可經過激光剝離(Laser?Debond)等方式分離玻璃及晶圓。然而玻璃及晶圓剝離后會有應力集中于邊緣呈不規則破裂的情形，需以破裂檢測機構檢出，以避免玻璃等載板破裂影響晶圓造成客戶損失，然而目前業界內并無任何應用于玻璃及晶圓破裂檢測的適用裝置。

綜上所述，本實用新型的發明人有感上述缺失可改善，乃特潛心研究并配合學理的應用，終于提出一種設計合理且有效改善上述缺失的實用新型。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題，在于提供一種破裂檢測機構，可用于板材(如玻璃、晶圓等)破裂狀態檢出，且可降低成本，并使檢測功能提升。

為了解決上述的技術問題，本實用新型提供一種破裂檢測機構，包括：一轉動件；至少一傳感器，該至少一傳感器設置于該轉動件上；以及一第一驅動裝置，該轉動件連接于該第一驅動裝置，該第一驅動裝置能驅動該轉動件轉動。

為了解決上述的技術問題，本實用新型還提供一種破裂檢測機構，應用于玻璃及晶圓剝離后破裂狀態的檢出，該玻璃及該晶圓之間定義為一檢測位置，該破裂檢測機構包括：一轉動件；至少一傳感器，該至少一傳感器設置于該轉動件上；一第一驅動裝置，該轉動件連接于該第一驅動裝置，該第一驅動裝置能驅動該轉動件轉動；以及該轉動件、該至少一傳感器及該第一驅動裝置能移入及移出該檢測位置。

較佳的，進一步包括一第二驅動裝置，該第一驅動裝置連接于該第二驅動裝置，通過該第二驅動裝置驅動該轉動件、該至少一傳感器及該第一驅動裝置移入及移出該檢測位置。

本實用新型至少具有下列的優點：

本實用新型的破裂檢測機構包括轉動件、傳感器及第一驅動裝置。該第一驅動裝置可驅動轉動件轉動，使得傳感器可以隨著轉動件同步轉動，傳感器可沿著圓形的檢測線移動，以達到全面性檢測的效果，可以大幅降低成本，并使檢測功能提升。

本實用新型的破裂檢測機構檢出板材破裂時，可以及時機臺警告，以避免玻璃等板材破裂影響晶圓造成客戶損失。

為使能更進一步了解本實用新型的特征及技術內容，請參閱以下有關本實用新型的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅用于提供參考與說明，并非用來對本實用新型加以限制。

附圖說明

圖1為本實用新型破裂檢測機構的主視示意圖。

圖2為本實用新型破裂檢測機構的俯視示意圖。

其中，附圖標記說明如下：

1???玻璃

2???晶圓

3???夾具

4???拔取機構

5???轉動件

6???傳感器

61??檢測線

7???第一驅動裝置

8???第二驅動裝置

100?破裂檢測機構

具體實施方式

請參閱圖1，為本實用新型破裂檢測機構的前視示意圖。本實用新型提供一種破裂檢測機構，可應用于板材破裂狀態的檢出，該板材的類型并不限制，例如可為玻璃、晶圓、載板等各種板狀材料。在本實施例中，該破裂檢測機構100應用于玻璃1及晶圓2剝離后破裂狀態的檢出。該晶圓2置于一夾具3上，該夾具3可將晶圓2夾持固定。該晶圓2原先結合于玻璃1上，如圖1所示的方向，該晶圓2的頂面原先結合于玻璃1的底面，以便利用玻璃1作為載板承載晶圓2進行相關的制程。當玻璃1及晶圓2欲分離時，則可利用一拔取機構4利用負壓方式將玻璃1吸附固定，進而以激光剝離或藥劑剝離等方式分離玻璃1及晶圓2，由于玻璃1及晶圓2的剝離方式屬于熟知技術，且非本實用新型的重點，故不再予以贅述。