[實用新型]破裂檢測機構有效
| 申請號： | 201420468448.1 | 申請日： | 2014-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN204086159U | 公開（公告）日： | 2015-01-07 |
| 發明（設計）人： | 劉文明;陳薇云 | 申請（專利權）人： | 弘塑科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/958 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;趙根喜 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 破裂 檢測 機構 | ||
1.一種破裂檢測機構，其特征在于，包括：
一轉動件；
至少一傳感器，該至少一傳感器設置于該轉動件上；以及
一第一驅動裝置，該轉動件連接于該第一驅動裝置，該第一驅動裝置能驅動該轉動件轉動。
2.如權利要求1所述的破裂檢測機構，其中該轉動件、該至少一傳感器及該第一驅動裝置能移入及移出一檢測位置。
3.如權利要求2所述的破裂檢測機構，其中進一步包括一第二驅動裝置，該第一驅動裝置連接于該第二驅動裝置，通過該第二驅動裝置驅動該轉動件、該至少一傳感器及該第一驅動裝置移入及移出該檢測位置。
4.如權利要求3所述的破裂檢測機構，其中該第二驅動裝置為氣缸或馬達。
5.如權利要求1所述的破裂檢測機構，其中該至少一傳感器為非接觸式傳感器。
6.如權利要求1所述的破裂檢測機構，其中該第一驅動裝置為氣缸或馬達。
7.一種破裂檢測機構，其特征在于，應用于玻璃及晶圓剝離后破裂狀態的檢出，該玻璃及該晶圓之間定義為一檢測位置，該破裂檢測機構包括：
一轉動件；
至少一傳感器，該至少一傳感器設置于該轉動件上；
一第一驅動裝置，該轉動件連接于該第一驅動裝置，該第一驅動裝置能驅動該轉動件轉動；以及
該轉動件、該至少一傳感器及該第一驅動裝置能移入及移出該檢測位置。
8.如權利要求7所述的破裂檢測機構，其中進一步包括一第二驅動裝置，該第一驅動裝置連接于該第二驅動裝置，通過該第二驅動裝置驅動該轉動件、該至少一傳感器及該第一驅動裝置移入及移出該檢測位置。
9.如權利要求8所述的破裂檢測機構，其中該第二驅動裝置為氣缸或馬達。
10.如權利要求7所述的破裂檢測機構，其中該至少一傳感器為非接觸式傳感器。
11.如權利要求7所述的破裂檢測機構，其中該第一驅動裝置為氣缸或馬達。
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