[實(shí)用新型]破裂檢測機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420468448.1
• 申請日: 2014-08-19
• 公開（公告）號: CN204086159U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉文明;陳薇云
• 申請（專利權(quán)）人: 弘塑科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/958
• 代理公司: 隆天國際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;趙根喜

1.一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

一轉(zhuǎn)動件；

至少一傳感器，該至少一傳感器設(shè)置于該轉(zhuǎn)動件上；以及

一第一驅(qū)動裝置，該轉(zhuǎn)動件連接于該第一驅(qū)動裝置，該第一驅(qū)動裝置能驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件轉(zhuǎn)動。

2.如權(quán)利要求1所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該轉(zhuǎn)動件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動裝置能移入及移出一檢測位置。

3.如權(quán)利要求2所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中進(jìn)一步包括一第二驅(qū)動裝置，該第一驅(qū)動裝置連接于該第二驅(qū)動裝置，通過該第二驅(qū)動裝置驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動裝置移入及移出該檢測位置。

4.如權(quán)利要求3所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該第二驅(qū)動裝置為氣缸或馬達(dá)。

5.如權(quán)利要求1所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該至少一傳感器為非接觸式傳感器。

6.如權(quán)利要求1所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該第一驅(qū)動裝置為氣缸或馬達(dá)。

7.一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，其特征在于，應(yīng)用于玻璃及晶圓剝離后破裂狀態(tài)的檢出，該玻璃及該晶圓之間定義為一檢測位置，該破裂檢測機(jī)構(gòu)包括：

一轉(zhuǎn)動件；

至少一傳感器，該至少一傳感器設(shè)置于該轉(zhuǎn)動件上；

一第一驅(qū)動裝置，該轉(zhuǎn)動件連接于該第一驅(qū)動裝置，該第一驅(qū)動裝置能驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件轉(zhuǎn)動；以及

該轉(zhuǎn)動件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動裝置能移入及移出該檢測位置。

8.如權(quán)利要求7所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中進(jìn)一步包括一第二驅(qū)動裝置，該第一驅(qū)動裝置連接于該第二驅(qū)動裝置，通過該第二驅(qū)動裝置驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動裝置移入及移出該檢測位置。

9.如權(quán)利要求8所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該第二驅(qū)動裝置為氣缸或馬達(dá)。

10.如權(quán)利要求7所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該至少一傳感器為非接觸式傳感器。

11.如權(quán)利要求7所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該第一驅(qū)動裝置為氣缸或馬達(dá)。