[實用新型]高效率蒸發舟有效
| 申請號: | 201420461222.9 | 申請日: | 2014-08-15 |
| 公開(公告)號: | CN204080098U | 公開(公告)日: | 2015-01-07 |
| 發明(設計)人: | 丁磊;徐杰;楊玲;馮亞青;馮敏強;廖良生 | 申請(專利權)人: | 蘇州方昇光電裝備技術有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/26 | 分類號: | C23C14/26 |
| 代理公司: | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人: | 陸明耀;陳忠輝 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高效率 蒸發 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種壽命長且蒸鍍效率高的蒸發舟,屬于真空鍍膜技術領域。
背景技術
現在所使用的導電陶瓷蒸發舟均是在導電陶瓷上開一個蒸發槽,然后再蒸發時將待蒸發的工件置于蒸發槽中進行蒸發,但蒸發時需要的功率較高,而且導電陶瓷很脆,高溫下作業時釋放的熱應力很容易引起斷裂,所以現有的蒸發舟壽命短,且蒸發效率低。
實用新型內容
本實用新型目的是提供一種壽命長且蒸發效率高的蒸發舟。
本實用新型的技術方案是:
高效率蒸發舟,包括帶有蒸發槽的導電陶瓷舟體,所述導電陶瓷舟體的橫截面呈工形,由中心段與設置在中心段兩端的連接段組成,所述蒸發槽開設于導電陶瓷舟體的中心段,所述導電陶瓷舟體兩端的連接段上均連接有作導電電極用金屬夾具,所述導電陶瓷舟體的中心段的兩端面與連接段的兩端面之間為距離設置,所述導電陶瓷舟體的中心段的底面與連接段的底面為距離設置。
優選地,所述導電陶瓷舟體的連接段與金屬夾具為插接連接。
本實用新型的優點是:增加了蒸發槽處的電阻,提高了蒸發效率,降低了兩端的溫度。有效的降低了蒸發舟與金屬夾具的接觸電阻,防止蒸發舟因接觸電阻過大而在接觸處產生極端高溫。
附圖說明
下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述:
圖1為本實用新型的結構示意圖;
具體實施
一種高效率蒸發舟,如圖1所示,包括帶有蒸發槽2的導電陶瓷舟體5,與現有技術不同的是,所述導電陶瓷舟體5的橫截面呈工形,由中心段3與設置在中心段3兩端的連接段1組成。所述蒸發槽2開設于導電陶瓷舟體的中心段3的中心,所述蒸發槽2的具體尺寸可根據需要蒸鍍的工件尺寸和要求進行具體的設置。對熔沸點較高的金屬可以增大蒸發槽的深度和寬度;對熔沸點較低的金屬則可適當減小。
所述導電陶瓷舟體兩端的連接段1上均連接有作導電電極用金屬夾具4。一般在金屬夾具4上設置與連接段1匹配的插槽,連接段1通過插接與金屬夾具連接。為了使需要加熱的部分電阻最大,從而使該部分熱量最高,所述對蒸發槽2周圍打磨,本處所指的打磨是指對導電陶瓷舟體的中心段3進行加工,所述導電陶瓷舟體的中心段3的兩端面與連接段1的兩側端面11之間設置一定的距離,所述導電陶瓷舟體的中心段1的底面與連接段1的底面12設置一定的距離。
本實施例中的導電陶瓷經加工而成,導電陶瓷長13cm,寬1.5cm,高1cm,中間磨出一個長4cm,寬0.5cm,高0.4cm的凹槽,作為蒸發槽。蒸發槽的左右各磨去0.3cm的厚度,蒸發槽對應底部也磨去0.3cm。最后插到兩側的金屬夾具上。當在蒸發槽內盛入用于蒸發的材料,并在真空環境中通電時,蒸發舟即可對蒸發材料加熱而使之熔化,進而使其蒸發逸出,附著于被鍍物上形成鍍層。
上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點,其目的在于讓熟悉此項技術的人能夠了解本實用新型的內容并據以實施,并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據本實用新型主要技術方案的精神實質所做的等效變換或修飾,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
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