[實用新型]高效率蒸發舟有效

申請號：	201420461222.9	申請日：	2014-08-15
公開（公告）號：	CN204080098U	公開（公告）日：	2015-01-07
發明（設計）人：	丁磊;徐杰;楊玲;馮亞青;馮敏強;廖良生	申請（專利權）人：	蘇州方昇光電裝備技術有限公司
主分類號：	C23C14/26	分類號：	C23C14/26
代理公司：	南京蘇科專利代理有限責任公司 32102	代理人：	陸明耀;陳忠輝
地址：	215000 江蘇省蘇州市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	高效率蒸發
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【權利要求書】：

1.高效率蒸發舟，包括帶有蒸發槽的導電陶瓷舟體，其特征在于：所述導電陶瓷舟體的橫截面呈工形，由中心段與設置在中心段兩端的連接段組成，所述蒸發槽開設于導電陶瓷舟體的中心段，所述導電陶瓷舟體兩端的連接段上均連接有作導電電極用金屬夾具，所述導電陶瓷舟體的中心段的兩端面與連接段的兩端面之間為距離設置，所述導電陶瓷舟體的中心段的底面與連接段的底面為距離設置。

2.根據權利要求1所述的高效率蒸發舟，其特征在于：所述導電陶瓷舟體的連接段與金屬夾具為插接連接。

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