[實用新型]用于保護芯片的密封環(huán)結構和芯片單元有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420456122.7 | 申請日: | 2014-08-12 |
| 公開(公告)號: | CN204088291U | 公開(公告)日: | 2015-01-07 |
| 發(fā)明(設計)人: | 張賀豐 | 申請(專利權)人: | 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/31 | 分類號: | H01L23/31 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李時云 |
| 地址: | 100176 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 保護 芯片 密封 結構 單元 | ||
1.一種用于保護芯片的密封環(huán)結構,其特征在于,包括:環(huán)體和用于加固所述芯片的邊角的保護結構,所述環(huán)體環(huán)繞設置于所述芯片的表面的邊緣,所述保護結構設置于所述芯片的表面的邊角,所述環(huán)體和保護結構相連接。
2.如權利要求1所述的用于保護芯片的密封環(huán)結構,其特征在于,所述保護結構與所述環(huán)體是一體成型的。
3.如權利要求1所述的用于保護芯片的密封環(huán)結構,其特征在于,所述芯片為矩形,所述保護結構為多邊形。
4.如權利要求3所述的用于保護芯片的密封環(huán)結構,其特征在于,所述環(huán)體與所述保護結構均為矩形,所述保護結構的一角與所述芯片的邊角相重合。
5.如權利要求3所述的用于保護芯片的密封環(huán)結構,其特征在于,所述環(huán)體與所述保護結構均為矩形,所述保護結構的兩個邊角分別位于所述芯片相交的兩邊上,所述保護結構的一邊與所述環(huán)體的一邊重合。
6.如權利要求3所述的用于保護芯片的密封環(huán)結構,其特征在于,所述環(huán)體為矩形,所述保護結構為三角形,所述保護結構的兩個邊角分別位于所述芯片相交的兩邊上,所述保護結構的一邊與所述環(huán)體的一邊重合。
7.如權利要求4、5或6所述的用于保護芯片的密封環(huán)結構,其特征在于,所述保護結構的邊長范圍是10μm~100μm。
8.如權利要求1所述的用于保護芯片的密封環(huán)結構,其特征在于,所述環(huán)體與所述保護結構的材質是銅。
9.一種芯片單元,其特征在于,包括芯片以及如權利要求1至8中任一項所述的用于保護芯片的密封環(huán)結構。
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