[實用新型]一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置

有效

• 申請號: 201420455449.2
• 申請日: 2014-08-13
• 公開（公告）號: CN204057978U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 譚德軍
• 申請（專利權）人: 譚德軍
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型涉及一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置。

背景技術

在多晶硅生產工藝過程中，會產生大量的廢氣，廢氣中主要含有N₂、H₂、HCl和氯硅烷，傳統的處理方法是廢水淋洗，這樣不僅需要消耗大量的石灰和水，而且也浪費了廢氣中有用的物質氯硅烷。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提出一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置，該裝置利用廢氣加壓冷凝的工藝原理，來回收廢氣中的氯硅烷，從而變廢為寶。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置，該裝置由廢氣緩沖罐、尾氣壓縮機、壓縮后緩沖罐、一級冷卻器、二級冷卻器、氣液分離罐依次串聯組裝而成，所述氣液分離罐頂端設置排氣口，底端連接產品緩沖罐。

所述廢氣緩沖罐設定背壓的表壓為15KPa~30?KPa，優選20?KPa。

所述尾氣壓縮機的出口壓力的表壓為0.25?KPa~0.3?KPa，優選0.3?Kpa。

所述一級冷卻器為水冷器，采用循環水冷卻。

所述二級冷卻器為深冷器，采用-20℃乙二醇冷卻或-35℃氟利昂R22冷卻，優選采用-35℃氟利昂R22冷卻。

本實用新型產生的有益效果為：本實用新型高度能耗低，回收了廢氣中的氯硅烷，變廢為寶，廢氣中氯硅烷的回收率可達到85%，而且該裝置安裝方便，操作步驟簡單。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型連接示意圖。

圖中：1-廢氣緩沖罐，2-尾氣壓縮機，3-壓縮后緩沖罐，4-一級冷卻器，5-二級冷卻器，6-氣液分離罐，7-產品緩沖罐。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

如圖1所示，一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置，該裝置由廢氣緩沖罐1、尾氣壓縮機2、壓縮后緩沖罐3、一級冷卻器4、二級冷卻器5、氣液分離罐6依次串聯組裝而成，所述氣液分離罐6頂端設置排氣口，底端連接產品緩沖罐7。

本實用新型原理是：多晶硅生產的廢氣進入緩沖罐1，所述廢氣緩沖罐設定背壓的表壓為15KPa~30?KPa，優選20?Kpa；然后通過尾氣壓縮2加壓0.25~0.3Mpa（這里的壓力指的是表壓，以下指代均是表壓），廢氣儲存在壓縮后緩沖罐3，通過一級冷卻器預冷到45℃，該一級冷卻器4為水冷器，采用循環水冷卻；然后通過二級冷卻器5冷卻到-15℃~-25，廢氣中的氯硅烷會被冷凝為液體，該二級冷卻器為深冷器，采用-20℃乙二醇冷卻或-35℃R22氟利昂冷卻，優選-35℃R22氟利昂冷卻；未冷凝性氣體通過氣液分離罐6頂部排除，冷凝后的氯硅烷液體進入到產品緩沖罐7回收利用。

實施例：

2013年6月~10月采用該工藝路線在內蒙古某廠建立了裝置并運行，取某一時段數據如下：

該系統工程應用表明該裝置路線是回收多晶硅廢氣中的氯硅烷的有效途徑，回收率極高，而且避免現有處理方式浪費資源的問題。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。