[實用新型]一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置有效
| 申請號： | 201420455449.2 | 申請日： | 2014-08-13 |
| 公開（公告）號： | CN204057978U | 公開（公告）日： | 2014-12-31 |
| 發明（設計）人： | 譚德軍 | 申請（專利權）人： | 譚德軍 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 430000 湖北省武漢*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 生產 廢氣 回收 硅烷 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置，其特征在于，該裝置由廢氣緩沖罐、尾氣壓縮機、壓縮后緩沖罐、一級冷卻器、二級冷卻器、氣液分離罐依次串聯組裝而成，所述氣液分離罐頂端設置排氣口，底端連接產品緩沖罐。
2.如權利要求1所述的一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置，其特征在于，所述廢氣緩沖罐設定背壓的表壓為15KPa~30?KPa，優選20?KPa。
3.如權利要求1所述的一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置，其特征在于，所述尾氣壓縮機的出口壓力的表壓為0.25?KPa~0.3?KPa，優選0.3?Kpa。
4.如權利要求1所述的一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置，其特征在于，所述一級冷卻器為水冷器，采用循環水冷卻。
5.如權利要求1所述的一種多晶硅生產廢氣回收氯硅烷的裝置，其特征在于，所述二級冷卻器為深冷器，采用-20℃乙二醇冷卻或-35℃氟利昂R22冷卻，優選采用-35℃氟利昂R22冷卻。
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