[實用新型]一種真空直流磁控濺鍍膜機

有效

• 申請號: 201420428583.3
• 申請日: 2014-08-01
• 公開（公告）號: CN204080099U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 韓建忠
• 申請（專利權）人: 浙江力都新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種鍍膜機，尤其涉及一種真空直流磁控濺鍍膜機。

背景技術

真空鍍膜機是全玻璃真空集熱管生產中的重要設備之一，而直流磁控濺射鍍膜機在目前太陽能行業中使用最為普遍，但因其真空系統閥門多、密封點多，在實際生產過程中能否快速檢漏、確定漏點的精確位置，是直接影響膜層結構性能是否優良和生產效率的關鍵因素。

直流磁控濺射鍍膜機應用于塑料制品、陶瓷、樹脂、水晶玻璃制品等、工藝品、塑料手機殼、電子產品、建材等行業。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種沉積速率快，鍍層附著力好，鍍層細膩致密，表面光潔度高，且均勻性一致性良好的真空磁控濺鍍膜機。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種真空直流磁控濺鍍膜機包括底座、支柱、鍍膜室、氣動截止閥、質量流量控制器、靶電機、寬量程電離規、氣動光欄閥、氣動充氣閥、高閥、熱偶規、油擴散泵、維持閥、維持泵、冷卻水控制裝置、電機及減速裝置、加熱電爐、機械泵；所述機械泵設有機械泵進氣口、進氣濾網、進氣管、排氣孔、排氣閥、轉子、彈簧、旋片、工作室、定子；所述鍍膜室設有靶電機、補氣管、室內加熱裝置、真空管、轉架、襯板、圓柱靶；所述油擴散泵設有油擴散泵進氣口、噴嘴、冷卻水管、導流管、泵體、加熱群、排氣口。

所述機械泵進氣口、排氣閥設于機械泵的頂端。

所述進氣管周圍包裹著進氣濾網。

所述機械泵，當轉子逆時針轉動時，由進氣口進入轉子與定子之間的部分空間的氣體分子將被刮片分割和壓縮，直到壓強增大到可以頂開出氣口的氣閥而被排出泵外；隨著時間的延續，被抽容器中的壓強將逐漸減小。

所述機械泵的抽真空極限為1.33×10^-1Pa，泵軸轉速為450r/min，抽氣速率為2L/s。

所述噴嘴、導流管設于油擴散泵中央。

所述加熱群設于油擴散泵的底端。

所述油擴散泵，利用高速定向運動的油蒸氣使氣體分子獲得定向移動的動能。

所述鍍膜室室體采用前開門、立式圓筒形鋼板結構，在鍍膜室內及頂部中央均安裝3個圓柱形磁控旋靶為陰極，圓筒室壁接地為陽極；圓柱靶及鍍膜室構成一個同軸圓柱形磁控濺射系統，改善鍍膜的質量，提高薄膜的附著力和多層鍍膜能力。

所述鍍膜室頂部及圓柱靶中心水平安裝一個制有“V”形滾珠導軌的固定內齒圈，作為工件架公轉盤的支撐軌道；公轉盤也是一個內齒圈，直流控制電機減速后通過皮帶輪與旋轉密封軸相連，旋轉密封軸上端的動力小齒輪與公轉盤嚙合；在公轉盤的一個同心軸上，均勻分布著30根自轉軸，自轉軸下端的小齒輪與固定內齒圈嚙合，每根自轉軸上端套裝一個被鍍工件，電機的動力通過旋轉密封軸傳入真空室；小齒輪轉動公轉盤轉動，并帶動自轉軸公轉，自轉軸小齒輪與吃撐軌道的固定內齒圈嚙合而做自轉運動，且自轉轉速是公轉轉速的16倍。

本實用新型的有益效果是：（1）一種真空直流磁控濺射鍍膜機，沉積速率快，鍍層附著力好，鍍層細膩致密，表面光潔度高，且均勻性一致性良好；（2）實現鍍膜工藝全自動化控制，裝載量大，工作可靠，合格率高，生產成本低，綠色環保。

附圖說明

圖1為一種真空直流磁控濺鍍膜機的結構示意圖。

圖2為機械泵的結構示意圖。

圖3為機械泵工作過程示意圖。

圖4為油擴散泵的結構示意圖。

圖5為鍍膜室的結構示意圖。

圖6為靶頭的結構示意圖。

圖中，1、底座；2、支柱；3、鍍膜室；4、氣動截止閥；5、質量流量控制器；6、靶電機；7、寬量程電離規；8、氣動光欄閥；9、氣動充氣閥；10、高閥；11、熱偶規；12、油擴散泵；13、維持閥；14、維持泵；15、冷卻水控制裝置；16、電機及減速裝置；17、加熱電爐；18、機械泵；19、機械泵進氣口；20、進氣濾網；21、進氣管；22、排氣孔；23、排氣閥；24、轉子；25、彈簧；26、旋片；27、工作室；28、定子；29、油擴散泵進氣口；30、噴嘴；31、冷卻水管；32、導流管；33、泵體；34、加熱群；35、排氣口；36、靶電機；37、補氣管；38、室內加熱裝置；39、真空管；40、轉架；41、襯板；42、圓柱靶；A、體積。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明。

具體實施例一