[實(shí)用新型]一種真空直流磁控濺鍍膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420428583.3
• 申請(qǐng)日: 2014-08-01
• 公開（公告）號(hào): CN204080099U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓建忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江力都新材料有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空直流磁控濺鍍膜機(jī)，其特征在于：包括底座、支柱、鍍膜室、氣動(dòng)截止閥、質(zhì)量流量控制器、靶電機(jī)、寬量程電離規(guī)、氣動(dòng)光欄閥、氣動(dòng)充氣閥、高閥、熱偶規(guī)、油擴(kuò)散泵、維持閥、維持泵、冷卻水控制裝置、電機(jī)及減速裝置、加熱電爐、機(jī)械泵；所述機(jī)械泵設(shè)有機(jī)械泵進(jìn)氣口、進(jìn)氣濾網(wǎng)、進(jìn)氣管、排氣孔、排氣閥、轉(zhuǎn)子、彈簧、旋片、工作室、定子；所述鍍膜室設(shè)有靶電機(jī)、補(bǔ)氣管、室內(nèi)加熱裝置、真空管、轉(zhuǎn)架、襯板、圓柱靶；所述油擴(kuò)散泵設(shè)有油擴(kuò)散泵進(jìn)氣口、噴嘴、冷卻水管、導(dǎo)流管、泵體、加熱群、排氣口；所述機(jī)械泵進(jìn)氣口、排氣閥設(shè)于機(jī)械泵的頂端；所述進(jìn)氣管周圍包裹著進(jìn)氣濾網(wǎng)；所述機(jī)械泵的抽真空極限為1.33×10^-1Pa，泵軸轉(zhuǎn)速為450r/min，抽氣速率為2L/s；所述噴嘴、導(dǎo)流管設(shè)于油擴(kuò)散泵中央；所述加熱群設(shè)于油擴(kuò)散泵的底端；所述鍍膜室室體采用前開門、立式圓筒形鋼板結(jié)構(gòu)，在鍍膜室內(nèi)及頂部中央均安裝3個(gè)圓柱形磁控旋靶為陰極，圓筒室壁接地為陽極；圓柱靶及鍍膜室構(gòu)成一個(gè)同軸圓柱形磁控濺射系統(tǒng)。