[實用新型]晶圓切割傳送裝置

有效

• 申請號: 201420427302.2
• 申請日: 2014-07-30
• 公開（公告）號: CN204067323U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 鄒武兵;張德安;段家露;曾波;余猛
• 申請（專利權）人: 深圳市韻騰激光科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 王丹鳳

1.晶圓切割傳送裝置，其特征在于：包括裝置本體、容置于所述裝置本體內的控制組件、裝設于所述裝置本體上的橫向運動結構組件、裝設于所述橫向運動結構組件上的垂直運動結構組件，所述垂直運動結構組件包括吸盤結構、至少三個裝設于所述吸盤結構上的用于將晶圓吸起的吸盤，所述橫向運動結構組件可相對于所述裝置本體直線來回運動，所述垂直運動結構組件可相對于所述裝置本體上下移動。

2.根據權利要求1所述的晶圓切割傳送裝置，其特征在于：所述橫向運動結構組件包括橫向運動結構組件本體、裝設于所述橫向驅動結構組件本體上的絲桿、與絲桿裝配在一起的絲桿座、與絲桿裝配在一起并用于驅動所述絲桿轉動的電機。

3.根據權利要求1所述的晶圓切割傳送裝置，其特征在于：所述垂直運動結構組件包括裝設于所述橫向運動結構組件上的垂直運動結構本體、裝設于垂直運動結構本體遠離橫向運動結構組件一端的氣缸，所述氣缸裝設于所述吸盤結構上。

4.根據權利要求2所述的晶圓切割傳送裝置，其特征在于：所述橫向運動結構組件還包括裝設于所述橫向驅動機構上用于保護連接電纜的可伸縮線槽。

5.根據權利要求3所述的晶圓切割傳送裝置，其特征在于：所述吸盤結構包括頂盤及兩個裝設于所述頂盤遠離所述垂直運動結構本體端面的裝夾臂，所述裝夾臂分開對稱分布，各所述吸盤分開對稱分布于所述裝夾臂上。

6.根據權利要求2所述的晶圓切割傳送裝置，其特征在于：所述垂直運動結構組件還包括容置于所述垂直運動結構組件內的真空發生器，所述真空發生器與各所述吸盤連接。

7.根據權利要求2所述的晶圓切割傳送裝置，其特征在于：所述垂直運動結構組件還包括至少三個裝設于所述垂直結構組件本體上的與所述吸盤對應的真空壓力表，所述真空壓力表與所述真空吸盤連接。