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[實用新型]一種用于藍膜粘片的頂針帽有效

專利信息
申請號: 201420421041.3 申請日: 2014-07-29
公開(公告)號: CN204088288U 公開(公告)日: 2015-01-07
發明(設計)人: 伍江濤;張建國;李亞寧;左福平;張航;朱紅星 申請(專利權)人: 深圳電通緯創微電子股份有限公司
主分類號: H01L21/687 分類號: H01L21/687
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 518000 廣東省深圳市龍*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 藍膜粘片 頂針
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及集成電路封裝技術領域,尤其涉及一種用于藍膜粘片的頂針帽。

背景技術

集成電路制作在以硅為主要材料的晶圓上,因其形狀為圓形,故稱為晶圓。集成電路也就是我們常說的芯片,芯片在半導體后道加工前,必須將其磨薄、劃片。首先必須將晶圓粘接在藍膜或UV膜上,然后烘烤、劃片、清洗、烘烤,再進行后道封裝的第一站,也就是粘片工序。粘片是將藍膜上已切割好的芯片依次拾取,傳送并放置在框架或基板上,使芯片與框架或基板粘結牢固。

在粘片過程中,承載晶圓的就是晶圓臺,它是將放入的藍膜進行擴張拉伸,在這個過程中藍膜正面粘接的晶圓同步被拉伸,從而使晶圓上的最小單元芯片相互之間間距增加,這樣各芯片之間成為獨立的個體。因整個藍膜背面(底下)為懸空,所以在拾取芯片時必須在懸空的背面建立一個平臺,這個平臺就是頂針帽。

因晶圓臺需要移動來拾取不同位置的芯片,在這個過程中藍膜會一直和頂針帽產生摩擦。如果制作藍膜的材質PVC粘度適中,如SPV-224,那么摩擦時是不會影響芯片的定位精度;如果粘度過大或配合不好,如N-380,芯片將很難定位,也就影響設備的拾取,從而影響粘片速度和精度。

在多型號藍膜并存的前提下,如何保證高速度、高精度的完成粘片,急需改善頂針帽與藍膜的配合。而傳統的頂針帽的底座與頂座是一體的,面對不同類型的藍膜,要更換的話,得更換整個頂針帽;當頂針帽頂座因與藍膜摩擦而發生磨損時,也需更換整個頂針帽,如此,即使得整個成本增加。

實用新型內容??

?本實用新型的目的在于提供一種用于藍膜粘片的頂針帽,其底座與頂座通過螺紋連接設置。

為實現上述目的,本實用新型所采用的技術方案是:

一種用于藍膜粘片的頂針帽,包括底座與頂座,所述頂座通過螺紋連接于

底座頂部。

所述底座依次包括一體成型的底部連接座、中部以及頂部螺接部,所述中

部的直徑小于底部連接座的直徑且大于頂部螺接部的直徑,所述頂部螺接部設置有外螺紋,所述頂座設置有內螺紋。?

本實用新型的有益效果為:因為頂針帽的底座與頂座是通過螺紋連接設置,從而兩者是可拆的,面對不同類型的藍膜時,或者頂針帽頂部發生磨損時,只需更換頂座即可,從而節省成本;而且通過螺紋連接可以使得底座與頂座的組裝拆卸非常簡單方便。

附圖說明

圖1為本實用新型用于藍膜粘片的頂針帽的立體示意圖;

圖2為本實用新型用于藍膜粘片的頂針帽的爆炸示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。

如圖1、2所示,本實用新型用于藍膜粘片的頂針帽包括底座1與頂座2,所述頂座2通過螺紋連接于底座1頂部。

在本實施例中,較佳的,所述底座1依次包括一體成型的底部連接座11、中部12以及頂部螺接部13,所述中部12的直徑小于底部連接座11的直徑且大于頂部螺接部13的直徑,所述頂部螺接部13設置有外螺紋,所述頂座2設置有內螺紋,從而通過螺紋的連接,所述頂針帽的頂座2連接于底座1的頂部。

工作時,先依據工藝要求選擇對應型號的頂針(圖未示),并安裝固定好頂針,然后將頂針帽的底座1連接于頂針上,再根據藍膜型號選擇不同材質的頂針帽頂座2,并將頂針帽頂座2螺接于底座1頂部螺接部13。當頂座2有磨損時,直接換頂座2即可。

綜上所述,因為頂針帽的底座1與頂座2是通過螺紋連接設置,兩者是可拆的,從而面對不同類型的藍膜時,或者頂針帽頂部發生磨損時,只需更換頂座2即可,從而節省成本;而且通過螺紋連接可以使得底座1與頂座2的組裝拆卸非常簡單方便。

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