[實用新型]一種用于藍膜粘片的頂針帽有效
| 申請號: | 201420421041.3 | 申請日: | 2014-07-29 |
| 公開(公告)號: | CN204088288U | 公開(公告)日: | 2015-01-07 |
| 發明(設計)人: | 伍江濤;張建國;李亞寧;左福平;張航;朱紅星 | 申請(專利權)人: | 深圳電通緯創微電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 藍膜粘片 頂針 | ||
技術領域
本實用新型涉及集成電路封裝技術領域,尤其涉及一種用于藍膜粘片的頂針帽。
背景技術
集成電路制作在以硅為主要材料的晶圓上,因其形狀為圓形,故稱為晶圓。集成電路也就是我們常說的芯片,芯片在半導體后道加工前,必須將其磨薄、劃片。首先必須將晶圓粘接在藍膜或UV膜上,然后烘烤、劃片、清洗、烘烤,再進行后道封裝的第一站,也就是粘片工序。粘片是將藍膜上已切割好的芯片依次拾取,傳送并放置在框架或基板上,使芯片與框架或基板粘結牢固。
在粘片過程中,承載晶圓的就是晶圓臺,它是將放入的藍膜進行擴張拉伸,在這個過程中藍膜正面粘接的晶圓同步被拉伸,從而使晶圓上的最小單元芯片相互之間間距增加,這樣各芯片之間成為獨立的個體。因整個藍膜背面(底下)為懸空,所以在拾取芯片時必須在懸空的背面建立一個平臺,這個平臺就是頂針帽。
因晶圓臺需要移動來拾取不同位置的芯片,在這個過程中藍膜會一直和頂針帽產生摩擦。如果制作藍膜的材質PVC粘度適中,如SPV-224,那么摩擦時是不會影響芯片的定位精度;如果粘度過大或配合不好,如N-380,芯片將很難定位,也就影響設備的拾取,從而影響粘片速度和精度。
在多型號藍膜并存的前提下,如何保證高速度、高精度的完成粘片,急需改善頂針帽與藍膜的配合。而傳統的頂針帽的底座與頂座是一體的,面對不同類型的藍膜,要更換的話,得更換整個頂針帽;當頂針帽頂座因與藍膜摩擦而發生磨損時,也需更換整個頂針帽,如此,即使得整個成本增加。
實用新型內容??
?本實用新型的目的在于提供一種用于藍膜粘片的頂針帽,其底座與頂座通過螺紋連接設置。
為實現上述目的,本實用新型所采用的技術方案是:
一種用于藍膜粘片的頂針帽,包括底座與頂座,所述頂座通過螺紋連接于
底座頂部。
所述底座依次包括一體成型的底部連接座、中部以及頂部螺接部,所述中
部的直徑小于底部連接座的直徑且大于頂部螺接部的直徑,所述頂部螺接部設置有外螺紋,所述頂座設置有內螺紋。?
本實用新型的有益效果為:因為頂針帽的底座與頂座是通過螺紋連接設置,從而兩者是可拆的,面對不同類型的藍膜時,或者頂針帽頂部發生磨損時,只需更換頂座即可,從而節省成本;而且通過螺紋連接可以使得底座與頂座的組裝拆卸非常簡單方便。
附圖說明
圖1為本實用新型用于藍膜粘片的頂針帽的立體示意圖;
圖2為本實用新型用于藍膜粘片的頂針帽的爆炸示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。
如圖1、2所示,本實用新型用于藍膜粘片的頂針帽包括底座1與頂座2,所述頂座2通過螺紋連接于底座1頂部。
在本實施例中,較佳的,所述底座1依次包括一體成型的底部連接座11、中部12以及頂部螺接部13,所述中部12的直徑小于底部連接座11的直徑且大于頂部螺接部13的直徑,所述頂部螺接部13設置有外螺紋,所述頂座2設置有內螺紋,從而通過螺紋的連接,所述頂針帽的頂座2連接于底座1的頂部。
工作時,先依據工藝要求選擇對應型號的頂針(圖未示),并安裝固定好頂針,然后將頂針帽的底座1連接于頂針上,再根據藍膜型號選擇不同材質的頂針帽頂座2,并將頂針帽頂座2螺接于底座1頂部螺接部13。當頂座2有磨損時,直接換頂座2即可。
綜上所述,因為頂針帽的底座1與頂座2是通過螺紋連接設置,兩者是可拆的,從而面對不同類型的藍膜時,或者頂針帽頂部發生磨損時,只需更換頂座2即可,從而節省成本;而且通過螺紋連接可以使得底座1與頂座2的組裝拆卸非常簡單方便。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





