[實用新型]一種濕法刻蝕機

有效

• 申請號: 201420420478.5
• 申請日: 2014-07-28
• 公開（公告）號: CN203967050U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 李永洋;李建朋;吳成新;王月超;楊曉超
• 申請（專利權）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

技術領域

本實用新型涉及光伏技術領域，特別是涉及一種濕法刻蝕機。

背景技術

光伏組件作為太陽能的一種利用形式正在大規模的應用，并形成了龐大的產業，越來越多的光伏組件投入使用，為人類提供著清潔的電力能源。

光伏組件利用玻璃板、背板和EVA封裝電池片，電池片由硅片制成，是光伏組件的核心。硅片由硅錠切割而成，然后經過表面制絨、擴散制結、刻蝕、沉積減反射膜、印刷燒結等工藝制成電池片。其中，刻蝕工藝是電池片制造過程中的一個重要工序，目的是去除硅片下表面及四個側面的PN結，以達到上下表面絕緣的目的，同時去除下表面及四個側面的磷硅玻璃層。

目前，一種常用的刻蝕方法是濕法刻蝕，通過化學試劑腐蝕掉硅片下表面及四個側面的PN結及磷硅玻璃層。如圖1所示，圖1為一種典型的濕法刻蝕機的結構示意圖。

濕法刻蝕的過程需要用到化學試劑，刻蝕后需要清洗硅片，在濕法刻蝕機中，刻蝕槽1與清洗槽2相鄰，兩者上方分別設有蓋板3和蓋板4。刻蝕槽1下方設有儲液罐5，儲液罐5與刻蝕槽1之間設有注液管道6和用于藥液回流的回流管道7、8，儲液罐5內設有第一熱交換器9，第一熱交換器9可以使儲液罐5中的藥液降溫至設定的溫度。清洗槽2的下方設有儲水罐10，儲水罐10與清洗槽2之間設有注水管道11和用于回流的回水管道12。

在生產過程中，會有氣流從清洗槽2和蓋板4之間流向刻蝕槽1和蓋板3之間，由于工藝的要求，需要儲液罐5內的藥液溫度較低，從而使刻蝕槽1中的藥液溫度也較低，且藥液不斷的揮發，致使在刻蝕槽1與蓋板3之間充滿較涼的酸氣。相對而言清洗槽2中純水的溫度較高，約為室溫，在氣流的作用下，大量的水蒸氣更隨氣流流到刻蝕槽1和蓋板3之間，遇到較涼的酸氣凝集成酸性的液滴。液滴在重力的作用下會向刻蝕槽1中滴落，如果此時有硅片通過，滴落到硅片表面會形成不合格片。

目前通常采用定期人工擦拭的方式擦去刻蝕槽1的蓋板3上形成的酸性液滴，盡量減少酸性液滴造成的不合格片。但是，人工擦拭的方式不能及時有效的避免液滴滴落，還會造成一部分不合格片。

因此，如何避免硅片在刻蝕過程中形成不合格片，是本領域技術人員目前急需解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種濕法刻蝕機，該濕法刻蝕機的刻蝕槽蓋板上不會形成酸性液滴，避免了硅片在刻蝕過程中形成不合格片。

為了實現上述技術目的，本實用新型提供了一種濕法刻蝕機，包括刻蝕槽及其蓋板、清洗槽及其蓋板；所述刻蝕槽下側設有儲液罐，二者之間設有注液管道和回流管道，所述儲液罐內設有第一熱交換器；所述清洗槽下側設有儲水罐，二者之間設有注水管道和回水管道；所述濕法刻蝕機還包括冷卻所述儲水罐內介質的冷卻裝置，所述冷卻裝置的預設溫度小于或等于所述第一熱交換器的預設溫度。

優選地，所述冷卻裝置為第二熱交換器，所述第二熱交換器設于所述儲水罐內。

優選地，還包括冷卻罐，所述儲水罐設有進水管和出水管，所述進水管和所述出水管均與所述冷卻罐連通；所述冷卻裝置為第二熱交換器，所述第二熱交換器設于所述冷卻罐內。

優選地，所述第一熱交換器具有第一進水管和第一出水管，所述第二熱交換器具有第二進水管和第二出水管；所述第一進水管和所述第二進水管均與冷水卻總管連通；所述第一出水管和所述第二出水管均與回水總管連通。

優選地，所述儲水罐設有進水管和出水管，所述進水管和所述出水管與所述冷卻裝置構成循環回路。

優選地，所述冷卻裝置的預設溫度等于所述第一熱交換器的預設溫度。

本實用新型提供的濕法刻蝕機，包括刻蝕槽及其蓋板、清洗槽及其蓋板；刻蝕槽下側設有儲液罐，二者之間設有注液管道和回流管道，儲液罐內設有第一熱交換器；清洗槽下側設有儲水罐，二者之間設有注水管道和回水管道；濕法刻蝕機還包括冷卻儲水罐內介質的冷卻裝置，冷卻裝置的預設溫度小于或等于第一熱交換器的預設溫度，使儲水罐的預設溫度小于或等于儲液罐的預設溫度，從而使得清洗槽上方的水汽溫度小于或等于刻蝕槽上方的酸氣溫度，氣流流動時，不會形成酸性液滴，從根本上避免了刻蝕槽上方蓋板液滴的凝結，避免了硅片在刻蝕過程中形成不合格片。

附圖說明

圖1為一種典型的濕法刻蝕機的結構示意圖；

圖2為本實用新型所提供的濕法刻蝕機一種具體實施方式的結構示意圖。

其中，圖1和圖2中的附圖標記和部件名稱之間的對應關系如下：