[實用新型]一種濕法刻蝕機

有效

• 申請號: 201420420478.5
• 申請日: 2014-07-28
• 公開（公告）號: CN203967050U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 李永洋;李建朋;吳成新;王月超;楊曉超
• 申請（專利權）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種濕法刻蝕機，包括刻蝕槽(1)及其蓋板(3)、清洗槽(2)及其蓋板(4)；所述刻蝕槽(1)下側設有儲液罐(5)，二者之間設有注液管道(6)和回流管道(7、8)，所述儲液罐(5)內設有第一熱交換器(9)；所述清洗槽(2)下側設有儲水罐(10)，二者之間設有注水管道(11)和回水管道(12)；其特征在于，所述濕法刻蝕機還包括冷卻所述儲水罐(10)內介質的冷卻裝置，所述冷卻裝置的預設溫度小于或等于所述第一熱交換器(9)的預設溫度。

2.如權利要求1所述的濕法刻蝕機，其特征在于，所述冷卻裝置為第二熱交換器(13)，所述第二熱交換器(13)設于所述儲水罐(10)內。

3.如權利要求1所述的濕法刻蝕機，其特征在于，還包括冷卻罐，所述儲水罐(10)設有進水管和出水管，所述進水管和所述出水管均與所述冷卻罐連通；所述冷卻裝置為第二熱交換器(13)，所述第二熱交換器(13)設于所述冷卻罐內。

4.如權利要求2或3所述的濕法刻蝕機，其特征在于，所述第一熱交換器(9)具有第一進水管和第一出水管，所述第二熱交換器(13)具有第二進水管和第二出水管；所述第一進水管和所述第二進水管均與冷水卻總管連通；所述第一出水管和所述第二出水管均與回水總管連通。