[實用新型]一種濕法刻蝕機及其刻蝕槽

有效

• 申請號: 201420420427.2
• 申請日: 2014-07-28
• 公開（公告）號: CN203967049U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 吳成新;李建朋;李永洋;王海濤;王月超;梁楠楠;康瑩
• 申請（專利權）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種濕法刻蝕機的刻蝕槽，包括工藝槽(102)和溢流槽(103)，所述工藝槽(102)底部設有注液管道(6)，所述溢流槽(103)底部設有回流管道(7)；其特征在于，所述工藝槽(102)的數量為至少兩個，各所述工藝槽(102)之間設置至少一個所述溢流槽(103)，所述刻蝕槽(1)的兩端分別為所述溢流槽(103)。

2.如權利要求1所述的濕法刻蝕機的刻蝕槽，其特征在于，各所述工藝槽(102)之間設置一個所述溢流槽(103)。

3.如權利要求2所述的濕法刻蝕機的刻蝕槽，其特征在于，所述工藝槽(102)的寬度大于所述溢流槽(103)的寬度。

4.如權利要求3所述的濕法刻蝕機的刻蝕槽，其特征在于，各所述工藝槽(102)的寬度相等。

5.如權利要求4所述的濕法刻蝕機的刻蝕槽，其特征在于，各所述溢流槽(103)的寬度相等。

6.一種濕法刻蝕機，包括刻蝕槽(1)和儲液罐(5)，所述刻蝕槽(1)和所述儲液罐(5)之間設有注液管道(6)和回流管道(7)，其特征在于，所述刻蝕槽(1)為權利要求1至5任一項所述的刻蝕槽(1)。