[實(shí)用新型]電容MEMS麥克風(fēng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420420268.6
• 申請(qǐng)日: 2014-07-28
• 公開（公告）號(hào): CN204046818U
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許從良
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司
• 主分類號(hào): H04R19/04
• 分類號(hào): H04R19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實(shí)用新型涉及一種微型麥克風(fēng)領(lǐng)域，具體指一種應(yīng)用于電子設(shè)備上，在高頻段具有更高靈敏度的電容MEMS(micro-electro-mechanical?system)麥克風(fēng)。

【背景技術(shù)】

隨著無線通訊的發(fā)展，全球移動(dòng)電話用戶越來越多，用戶對(duì)移動(dòng)電話的要求已不滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其是目前移動(dòng)多媒體技術(shù)的發(fā)展，移動(dòng)電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動(dòng)電話的麥克風(fēng)作為移動(dòng)電話的語音拾取裝置，其設(shè)計(jì)好壞直接影響通話質(zhì)量。

通常MEMS麥克風(fēng)包括具有空腔的基底、設(shè)置在基底上的背板、與背板相對(duì)的振膜，背板上設(shè)有導(dǎo)聲孔，該導(dǎo)聲孔可將聲音氣流傳遞到振膜上，聲壓驅(qū)動(dòng)振膜相對(duì)背板振動(dòng)，所述振膜與背板之間形成一個(gè)聲腔；振膜與背板上分別設(shè)有導(dǎo)電層并可加電，但加電的部分相互絕緣，這樣振膜與背板之間的聲腔就組成具有電容的電容器，電容的值與電容兩個(gè)板之間的正對(duì)面積成正比，與電容兩個(gè)板之間的距離成反比。然而，對(duì)于一般MEMS麥克風(fēng)產(chǎn)品而言，在超聲頻段可用于收拾識(shí)別等領(lǐng)域，在高頻段(30?kHz-60kHz)時(shí)，靈敏度較低。這是由于外界的聲壓到達(dá)振膜，在低頻時(shí)，振膜處的聲壓可保持不變，但在高頻時(shí)會(huì)明顯降低，如60kHz時(shí)振膜處的聲壓比1kHz時(shí)振膜處的聲壓低10dB，因此，MEMS麥克風(fēng)在高頻時(shí)靈敏度急劇下降。

因此，有必要提供一種新型的電容MEMS麥克風(fēng)以解決上述問題。

【實(shí)用新型內(nèi)容】

本實(shí)用新型的目的在于提供一種在高頻段靈敏度較高的電容MEMS麥克風(fēng)。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種電容MEMS麥克風(fēng)，包括具有空腔的基底和設(shè)置在所述基底上的傳聲部，所述電容MEMS麥克風(fēng)還包括置于所述空腔中并與所述基底連接的隔層件，所述隔層件包括隔板和開設(shè)在所述隔板上的至少一個(gè)通氣孔，所述隔板將所述空腔分隔成上腔體和下腔體，所述通氣孔用于供所述上腔體和下腔體相連通。

優(yōu)選地，所述隔板與所述傳聲部相平行。

優(yōu)選地，所述隔層件還包括沿所述隔板向遠(yuǎn)離所述傳聲部的方向延伸的凸臺(tái)，至少一個(gè)所述通氣孔貫穿所述凸臺(tái)。

優(yōu)選地，所述凸臺(tái)沿垂直所述隔板的方向延伸。

優(yōu)選地，所述傳聲部包括設(shè)置在所述基底上的背板、與背板相對(duì)設(shè)置的振膜，所述背板中設(shè)有與所述空腔相連通的導(dǎo)聲孔。

本實(shí)用新型的電容MEMS麥克風(fēng)，通過在基底的空腔里設(shè)置隔層件，將空腔分隔成兩個(gè)子腔體，此時(shí)，通過空腔的諧振，提高高頻時(shí)振膜處的聲壓，進(jìn)而提高M(jìn)EMS麥克風(fēng)的高頻段的靈敏度。

【附圖說明】

圖1為本實(shí)用新型電容MEMS麥克風(fēng)的立體結(jié)構(gòu)圖；

圖2為圖1所示沿A-A線的剖視圖；

圖3為本實(shí)用新型電容MEMS麥克風(fēng)的隔層件的第一實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)圖；

圖4為本實(shí)用新型電容MEMS麥克風(fēng)的隔層件的第二實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)圖。

【具體實(shí)施方式】

下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

本實(shí)用新型電容MEMS麥克風(fēng)主要用于手機(jī)上，接受聲音并將聲音轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，本實(shí)用新型是通過在基底的空腔中增加隔層件的方式達(dá)到提高電容MEMS麥克風(fēng)高頻段靈敏度的效果。

如圖1和圖2所示，為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，電容MEMS麥克風(fēng)10包括基底12、設(shè)置在基底12上的傳聲部11和置于空腔120中并與基底12連接的隔層件13。

基底12包括由硅材料制成的側(cè)壁121和由該側(cè)壁121圍合成的空腔120。空腔120包括由隔層件13分隔成的、層疊設(shè)置的上腔體1201和下腔體1202。