[實(shí)用新型]電容MEMS麥克風(fēng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420420268.6
• 申請(qǐng)日: 2014-07-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204046818U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許從良
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H04R19/04
• 分類(lèi)號(hào): H04R19/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種電容MEMS麥克風(fēng)，包括具有空腔的基底和設(shè)置在所述基底上的傳聲部，其特征在于，所述電容MEMS麥克風(fēng)還包括置于所述空腔中并與所述基底連接的隔層件，所述隔層件包括隔板和開(kāi)設(shè)在所述隔板上的至少一個(gè)通氣孔，所述隔板將所述空腔分隔成上腔體和下腔體，所述通氣孔用于供所述上腔體和下腔體相連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述隔板與所述傳聲部相平行。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述隔層件還包括沿所述隔板向遠(yuǎn)離所述傳聲部的方向延伸的凸臺(tái)，至少一個(gè)所述通氣孔貫穿所述凸臺(tái)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述凸臺(tái)沿垂直所述隔板的方向延伸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的電容MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述傳聲部包括設(shè)置在所述基底上的背板、與所述背板相對(duì)設(shè)置的振膜，所述背板中設(shè)有與所述空腔相連通的導(dǎo)聲孔。