[實(shí)用新型]一種便于在線維護(hù)的膜厚監(jiān)控設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420402261.1
• 申請日: 2014-07-21
• 公開（公告）號: CN203999802U
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉雙良
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市華星鍍膜科技有限公司;東莞市華星納米科技有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于真空制膜鍍膜機(jī)中監(jiān)控膜厚及鍍膜速率的監(jiān)控儀器設(shè)備，尤指一種在對膜厚監(jiān)控儀器設(shè)備進(jìn)行維護(hù)時(shí)不需要停止生產(chǎn)作業(yè)線的一種便于在線維護(hù)的膜厚監(jiān)控設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著科技的發(fā)展，出現(xiàn)了很多性能凸顯的產(chǎn)品，如LED原件、發(fā)光二極管、顯示器、鋼化玻璃等，而在對這些產(chǎn)品使用時(shí)，為了延長產(chǎn)品的使用壽命或提高產(chǎn)品的質(zhì)量，通常會(huì)對這些產(chǎn)品進(jìn)行制備薄膜或鍍膜保護(hù)，而在制膜或鍍膜過程中通常是采用真空鍍膜機(jī)在真空的狀態(tài)下進(jìn)行制膜鍍膜， 真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，這些生產(chǎn)設(shè)備及工藝通常都是在真空狀態(tài)下進(jìn)行，這樣才能提高及準(zhǔn)確監(jiān)控到制膜或鍍膜的質(zhì)量，在對制膜或鍍膜的膜厚及速率進(jìn)行監(jiān)控時(shí)，通常是采用監(jiān)控儀器設(shè)備，監(jiān)控儀器設(shè)備的重要部件就是監(jiān)控探頭，由于監(jiān)控探頭的成分通常是石英晶精準(zhǔn)片，在使用時(shí)間長的時(shí)候要對監(jiān)控儀器設(shè)備或監(jiān)控探頭進(jìn)行更換、維修、養(yǎng)護(hù)等維護(hù)工作，由于監(jiān)測探頭、晶片等都處于工作爐子內(nèi)部，通常在進(jìn)行維護(hù)工作時(shí)，會(huì)把整個(gè)作業(yè)線停止，然后將監(jiān)控儀器設(shè)備工作所在工作爐體的真空空間進(jìn)行放氣后，使得真空空間不再是真空狀態(tài)，這時(shí)再通過機(jī)械手或人工進(jìn)入工作爐體進(jìn)行維護(hù)工作，所以進(jìn)行維護(hù)工作時(shí)停止整個(gè)生產(chǎn)作業(yè)線會(huì)給生產(chǎn)帶來很多不便，同時(shí)如人工進(jìn)入工作爐體進(jìn)行維護(hù)工作會(huì)使得工作爐體的清潔度遭到破壞，不僅增加維護(hù)成本，消耗大量因停工或處置真空狀態(tài)的時(shí)間，更重要的加大了維護(hù)的難度，且維護(hù)精度不高。

發(fā)明內(nèi)容

為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)中的的不足，本實(shí)用新型旨在提供一種應(yīng)用于真空制膜鍍膜機(jī)中監(jiān)控膜厚及鍍膜速率的監(jiān)控儀器設(shè)備，包括應(yīng)用于真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，尤指一種在對膜厚監(jiān)控儀器設(shè)備進(jìn)行維護(hù)時(shí)不需要停止生產(chǎn)作業(yè)線的一種便于在線維護(hù)的膜厚監(jiān)控設(shè)備。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種便于在線維護(hù)的膜厚監(jiān)控設(shè)備，所述的設(shè)備主要包括監(jiān)控系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和工作爐體，監(jiān)控系統(tǒng)與工作爐體連接，控制系統(tǒng)與監(jiān)控系統(tǒng)電性相連；所述的監(jiān)控系統(tǒng)包括監(jiān)控探測儀、腔體和密封端蓋，監(jiān)控探測儀為帶有監(jiān)控探頭的長條桿狀，可伸縮移動(dòng)安裝在腔體內(nèi)部，從腔體一端貫穿腔體內(nèi)部延伸到另外一端；當(dāng)監(jiān)控探測儀處于工作狀態(tài)時(shí)，控制系統(tǒng)控制監(jiān)控探測儀往密封端蓋方向伸長移動(dòng)，使得探頭部分貫穿密封端蓋延伸在腔體外；當(dāng)監(jiān)控探測儀處于維護(hù)狀態(tài)時(shí)，控制系統(tǒng)控制監(jiān)控探測儀背向密封端蓋側(cè)收縮移動(dòng)，使得探頭部分收縮在腔體內(nèi)部；腔體正對收縮在腔體內(nèi)部的探頭位置上開設(shè)有通孔，通孔上安裝有閥門，打開閥門后腔體內(nèi)部通過閥門與外界環(huán)境相通，維護(hù)工具可以從閥門進(jìn)入腔體內(nèi)部對監(jiān)控探測儀或探頭進(jìn)行維護(hù)，關(guān)閉閥門使得通孔處于密封狀態(tài)；腔體上安裝有氣閥，氣閥上連接有壓力計(jì)；所述的腔體一端開口，密封端蓋安裝在腔體開口端，腔體通過密封端蓋與工作爐體連接；所述的密封端蓋可密封鑲嵌在工作爐體內(nèi)部，當(dāng)密封端蓋關(guān)閉時(shí)，腔體內(nèi)部與外界環(huán)境隔絕密封，當(dāng)密封端蓋打開時(shí)，腔體內(nèi)部與外界環(huán)境相通。

所述的監(jiān)控探測儀通過與氣缸或馬達(dá)連接可伸縮移動(dòng)式安裝在腔體內(nèi)部。

所述的腔體為一端開口的圓柱體狀。

所述的氣閥可對腔體內(nèi)部進(jìn)行放氣或抽氣操作，壓力計(jì)顯示腔體內(nèi)部的氣壓情況。

所述的密封端蓋包括滑軌結(jié)構(gòu)和密封塊，滑軌結(jié)構(gòu)直接安裝在腔體的開口端上，密封塊的厚度與滑軌結(jié)構(gòu)上的滑槽相適配構(gòu)成滑動(dòng)連接，密封塊沿著滑槽移動(dòng)可打開或密封腔體。

所述的設(shè)備在正常工作時(shí)，監(jiān)控系統(tǒng)通過將密封端蓋密封鑲嵌在工作爐體內(nèi)部使得監(jiān)控系統(tǒng)與工作爐體連接成一體。

本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在：首先，本實(shí)用新型在正常工作時(shí)，監(jiān)控系統(tǒng)安裝在工作爐體上使其合為一體，并通過控制系統(tǒng)對監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)時(shí)在線監(jiān)控和操作，不會(huì)影響監(jiān)控系統(tǒng)的正常工作性能，更重要的是要對監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)行更換、維修、養(yǎng)護(hù)等維護(hù)工作時(shí)，只需要通過控制系統(tǒng)單獨(dú)將監(jiān)控系統(tǒng)的監(jiān)控探測儀脫離工作爐體的真空環(huán)境后在工作爐體的外界進(jìn)行正常的維護(hù)工作，而不需要整個(gè)作業(yè)線停止，將空氣排入工作爐體中后進(jìn)入工作爐體內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)工作，不僅保證了工作爐體的清潔度，更重要的是不需要停止作業(yè)線實(shí)現(xiàn)在線維護(hù)，降低了維護(hù)難度和維護(hù)成本，提高了維護(hù)工作的質(zhì)量。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的組裝結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型監(jiān)控系統(tǒng)處于伸長狀態(tài)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。