[實用新型]一種便于在線維護的膜厚監控設備

有效

• 申請號: 201420402261.1
• 申請日: 2014-07-21
• 公開（公告）號: CN203999802U
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發明（設計）人: 劉雙良
• 申請（專利權）人: 東莞市華星鍍膜科技有限公司;東莞市華星納米科技有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種便于在線維護的膜厚監控設備，所述的設備主要包括監控系統、控制系統和工作爐體，監控系統與工作爐體連接，控制系統與監控系統電性相連；其特征在于：所述的監控系統包括監控探測儀、腔體和密封端蓋，監控探測儀為帶有監控探頭的長條桿狀，可伸縮移動安裝在腔體內部，從腔體一端貫穿腔體內部延伸到另外一端；當監控探測儀處于工作狀態時，控制系統控制監控探測儀往密封端蓋方向伸長移動，使得探頭部分貫穿密封端蓋延伸在腔體外；當監控探測儀處于維護狀態時，控制系統控制監控探測儀背向密封端蓋側收縮移動，使得探頭部分收縮在腔體內部；腔體正對收縮在腔體內部的探頭位置上開設有通孔，通孔上安裝有閥門，打開閥門后腔體內部通過閥門與外界環境相通，維護工具可以從閥門進入腔體內部對監控探測儀或探頭進行維護，關閉閥門使得通孔處于密封狀態；腔體上安裝有氣閥，氣閥上連接有壓力計；

所述的腔體一端開口，密封端蓋安裝在腔體開口端，腔體通過密封端蓋與工作爐體連接；

所述的密封端蓋可密封鑲嵌在工作爐體內部，當密封端蓋關閉時，腔體內部與外界環境隔絕密封，當密封端蓋打開時，腔體內部與外界環境相通。

2.根據權利要求1所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的監控探測儀通過與氣缸或馬達連接可伸縮移動式安裝在腔體內部。

3.根據權利要求1所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的腔體為一端開口的圓柱體狀。

4.根據權利要求1所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的氣閥可對腔體內部進行放氣或抽氣操作，壓力計顯示腔體內部的氣壓情況。

5.根據權利要求1所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的密封端蓋包括滑軌結構和密封塊，滑軌結構直接安裝在腔體的開口端上，密封塊的厚度與滑軌結構上的滑槽相適配構成滑動連接，密封塊沿著滑槽移動可打開或密封腔體。

6.根據權利要求1-5任一項所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的設備在正常工作時，監控系統通過將密封端蓋密封鑲嵌在工作爐體內部使得監控系統與工作爐體連接成一體。