[實用新型]高真空電弧泵及其抽氣機組

有效

• 申請號: 201420395632.8
• 申請日: 2014-07-17
• 公開（公告）號: CN204061092U
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 儲繼國
• 申請（專利權）人: 儲繼國
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;C23C14/56
• 代理公司: 廣東國欣律師事務所 44221
• 代理人: 姜勝攀

1.?一種高真空電弧泵，包括泵殼和電源，所述泵殼上設有泵口，所述泵殼一側的可開合的面板上固設有基座，所述基座與所述面板絕緣，所述基座與所述電源負極電連接，所述基座內側端與陰極靶固定連接，所述電源正極與所述泵殼電連接，其特征在于，所述泵殼內還設有位于所述陰極靶和所述面板之間的金屬擋板，所述金屬擋板與周圍部件絕緣。

2.?如權利要求1所述的高真空電弧泵，其特征在于，所述陰極靶與基座之間設有材質特征光譜與所述陰極靶的特征光譜相異的導熱薄層。

3.?如權利要求2所述的高真空電弧泵，其特征在于，所述導熱薄層的材料為鐵或銅，所述導熱薄層的厚度為0.5~2mm。

4.?如權利要求1所述的高真空電弧泵，其特征在于，所述陰極靶的材料為鈦。

5.?如權利要求1~4中任一項所述的高真空電弧泵，其特征在于，所述陰極靶中摻入有其它材料，所述其它材料為鎂、鋁、鋅、鈣或其中任意至少兩種的混合，所述其它材料在所述陰極靶中的重量百分比為0.5~80%。

6.?一種高真空電弧泵機組，包括真空室，其特征在于，所述真空室分別連接有粗抽泵、牽引分子泵以及如權利要求1~5中任一項所述的高真空電弧泵；

所述真空室通過第一真空閥與所述粗抽泵連接，所述真空室通過第二真空閥與所述牽引分子泵連接，所述牽引分子泵通過第三真空閥與前級泵連接，所述真空室依次經擋塵板、第四真空閥與所述高真空電弧泵連接，所述真空室還分別連接有放氣閥和真空規。

7.?一種深冷高真空電弧泵機組，包括真空室，其特征在于，所述真空室分別連接有深冷泵、粗抽泵、牽引分子泵以及如權利要求1~5中任一項所述的高真空電弧泵；

所述真空室通過第一真空閥與所述粗抽泵連接，所述真空室直接或通過第二真空閥分別與所述深冷泵和牽引分子泵連接，所述牽引分子泵通過第三真空閥與前級泵連接，所述真空室經擋塵板和第四真空閥與所述高真空電弧泵連接，所述真空室還分別連接有放氣閥和真空規。

8.?一種高真空蒸發鍍膜機組，包括鍍膜室，其特征在于，所述鍍膜室分別連接有粗抽泵、牽引分子泵以及如權利要求1~5中任一項所述的高真空電弧泵；

所述鍍膜室通過第一真空閥與所述粗抽泵連接，所述鍍膜室通過第二真空閥與所述牽引分子泵連接，所述牽引分子泵通過第三真空閥與前級泵連接，所述鍍膜室經擋塵板和第四真空閥與所述高真空電弧泵連接，所述鍍膜室還分別連接有放氣閥和真空規。

9.?一種深冷電弧泵蒸發鍍膜機組，包括鍍膜室，其特征在于，所述鍍膜室分別連接有粗抽泵、牽引分子泵以及如權利要求1~5中任一項所述的高真空電弧泵；

所述鍍膜室通過第一真空閥與所述粗抽泵連接，所述鍍膜室通過第二真空閥分別與深冷泵和所述牽引分子泵連接，所述牽引分子泵通過第三真空閥與前級泵連接，所述鍍膜室依次經擋塵板、第四真空閥與所述高真空電弧泵連接，所述鍍膜室還分別連接有放氣閥和真空規。