[實(shí)用新型]一種晶圓定位裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420390825.4
• 申請日: 2014-07-15
• 公開（公告）號: CN203967056U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 年四軍;簡子杰
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/673
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種晶圓定位裝置，用于定位晶圓匣中晶圓的位置，所述晶圓匣上端開口且包含兩個彼此相對的內(nèi)側(cè)壁；所述內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有若干貫通于所述開口且橫向?qū)盈B的槽位；所述兩個內(nèi)側(cè)壁上的槽位兩兩對應(yīng)并用于承載晶圓；其特征在于，所述晶圓定位裝置至少包括：

設(shè)置于一支架上且分別沿所述晶圓匣開口處的所述兩個內(nèi)側(cè)壁邊緣同步移動的指針；

所述指針相互聯(lián)動且用于指向所述兩兩對應(yīng)的槽位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓定位器，其特征在于：所述支架包括用于固定所述晶圓匣的兩個底座、分別設(shè)置于所述兩個底座上的平行軌道以及連接在每個軌道上的滑動豎軸；所述滑動豎軸的滑動方向與所述槽位的層疊方向相同；所述兩個滑動豎軸通過一位于所述晶圓匣底部的橫桿彼此連接；所述兩個滑動豎軸的頂端分別與所述指針連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓定位器，其特征在于：所述支架包括用于固定所述晶圓匣的一底座、設(shè)置于所述底座上的兩個平行軌道以及連接在每個軌道上的滑動豎軸；所述滑動豎軸的滑動方向與所述槽位的層疊方向相同；所述兩個滑動豎軸通過一U型桿彼此連接；所述兩個滑動豎軸的中點(diǎn)分別固定于所述U型桿的兩臂的末端；所述U型桿的橫截面與所述滑動豎軸垂直；所述兩個滑動豎軸的頂端分別與所述指針連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的晶圓定位器，其特征在于：所述指針包括指針頭和與所述滑動豎桿固定的矩形組件，所述指針頭焊接在所述矩形組件的中央，所述矩形組件的兩側(cè)與所述滑動豎軸的頂端通過螺絲相互固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓定位器，其特征在于：所述兩個彼此相對的內(nèi)側(cè)壁相對于所述晶圓匣外部傾斜角度相同；所述槽位沿水平方向?qū)盈B于所述兩個內(nèi)側(cè)壁。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓定位器，其特征在于：所述兩個內(nèi)側(cè)壁上的所述槽位數(shù)分別25層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓定位器，其特征在于：所述晶圓匣的深度大于所述晶圓的直徑。