[實用新型]超凈高純氫氟酸的過濾裝置

有效

• 申請號: 201420369068.2
• 申請日: 2014-07-07
• 公開（公告）號: CN203976397U
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 吳建良;胡美艷
• 申請（專利權）人: 昆山晶科微電子材料有限公司
• 主分類號: C01B7/19
• 分類號: C01B7/19
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型涉及超高純試劑提純技術，具體涉及超凈高純氫氟酸的過濾裝置。

技術背景

超純凈氫氟酸為強酸性清洗、腐蝕劑，可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用，是電子領域微細加工制作中不可缺少的關鍵性基礎化工原料之一，主要用于芯片的清洗和蝕刻，還可用作分析試劑盒制備高純度的含氟化學品，目前，在國內基本上作為刻蝕劑和清洗劑用于微電子行業，其他方面用量較少。

目前，超凈高純氫氟酸的生產工藝一般為：將工業無水氫氟酸經化學預處理后，進入精餾塔通過精餾操作，得到的氟化氫氣體經冷卻后，在吸收塔中用超純水吸收，并采用控制噴淋密度、氣液比等方法使電子級氫氟酸進一步純化，隨后經0.2μm以下超濾工序，最后在密閉潔凈環境條件下(?百級以下)?進行灌裝得到最終產品——超凈高純氫氟酸。因生產電子級氫氟酸使用無水氟化氫原料有大量粉塵殘留，嚴重制約了超凈高純氫氟酸生產時的質量，可采用微過濾方法原理，吸附過濾氟化氫中的顆粒物，因氟化氫是強腐蝕和劇毒性化學品，沸點低19.6℃，按常規過濾器，更換濾芯，易造成安全事故。

實用新型內容

本實用新型旨在提供一種可以對氫氟酸進行過濾的裝置，可安全可靠的更換濾芯。

為了解決上述問題，本實用新型提供了超凈高純氫氟酸的過濾裝置，包括過濾器本體，其特征在于：所述的過濾器本體底部設有純水進口和排污出口，所述的排污出口旁為氮氣入口，所述的物料進口位于排污出口上方，所述的過濾器本體上方設有尾氣出口，物料出口設在過濾器本體的最上方，所述的壓力表與物料進口相連，過濾器本體的設有液位管，過濾器本體內部設有可更換的濾芯。

其中：過濾器本體內部材料和濾芯材料為耐腐蝕的聚四氟乙烯（PTFE）耐高溫材料。

本實用新型提供了一種可安全更換濾芯的超凈高純氫氟酸的過濾裝置，結構簡單，維護方便，減少安全事故的發生，同時提高了超凈高純氫氟酸的品質。

附圖說明

?圖1為本實用新型的結構示意圖。

其中：1.?過濾器本體；2.純水進口；3.?排污出口；4.?氮氣入口；5.?物料進口；6.?尾氣出口；7.?物料出口；8.?壓力表；9.?液位管；10.濾芯。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步的說明。

如圖1所示，本實用新型提供了超凈高純氫氟酸的過濾裝置，包括過濾器本體1，其特征在于：所述的過濾器本體1底部設有純水進口2和排污出口3，所述的排污出口3旁為氮氣入口4，所述的物料進口5位于排污出口3上方，所述的過濾器本體1上方設有尾氣出口6，物料出口7設在過濾器本體1的最上方，所述的壓力表8與物料進口1相連，過濾器本體1設有液位管9，過濾器本體1內部設有可更換的濾芯10。

過濾器本體內部1材料和濾芯10材料為耐腐蝕的聚四氟乙烯（PTFE）耐高溫材料。

超凈高純氫氟酸過濾裝置使用時，打開物料進口5和物料出口7，關閉氮氣入口4、尾氣出口6、純水進口2和排污出口3。當超凈高純氫氟酸過濾裝置使用時間較長，壓力表8示數較大時，說明過濾裝置內部濾芯10發生了堵塞，需要更換濾芯10。更換濾芯10時，首先停止過濾，關閉物料進口5和物料出口7，然后開啟氮氣入口4和尾氣出口6，充入氮氣充分吹凈過濾裝置中的氟化氫氣體；然后關閉氮氣入口4和尾氣出口6，打開純水進口2，讓純水充分進入過濾器，吸收沖洗過濾器中殘留的氟化氫，然后打開污水出口，回收廢水做處理后排放，多次沖洗后，過濾器中的氟化氫吸收處理干凈，此時方可打開過濾器，更換其中的濾芯10。

本實用新型的有益效果在于：提供了一種結構簡單，維護方便的超凈高純氫氟酸過濾裝置，更換濾芯安全可靠，降低了氫氟酸生產的危險性，同時提高了超凈高純氫氟酸的品質。