[實用新型]超凈高純氫氟酸的過濾裝置有效
| 申請號： | 201420369068.2 | 申請日： | 2014-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN203976397U | 公開（公告）日： | 2014-12-03 |
| 發明（設計）人： | 吳建良;胡美艷 | 申請（專利權）人： | 昆山晶科微電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C01B7/19 | 分類號： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 215341 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 凈高 氫氟酸 過濾 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.超凈高純氫氟酸的過濾裝置，包括過濾器本體，其特征在于：所述的過濾器本體底部設有純水進口和排污出口，所述的排污出口旁為氮氣入口，所述的物料進口位于排污出口上方，所述的過濾器本體上方設有尾氣出口，物料出口設在過濾器本體的最上方，所述的壓力表與物料進口相連，過濾器本體的設有液位管，過濾器本體內部設有可更換的濾芯。
2.根據權利要求1所述的超凈高純氫氟酸的過濾裝置，其特征在于：所述的過濾器本體內部材料為耐腐蝕的聚四氟乙烯（PTFE）耐高溫材料。
3.根據權利要求1所述的超凈高純氫氟酸的過濾裝置，其特征在于：所述的濾芯材料為耐腐蝕的聚四氟乙烯（PTFE）耐高溫材料。
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