[實用新型]一種用于檢驗受試裝置的探針系統

有效

• 申請號: 201420356287.7
• 申請日: 2014-06-30
• 公開（公告）號: CN204154762U
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 喬治·柯瑞爾思;麥克·菲利皮;史帝文·亞奇;麥克·尚·卡薩帝;奇瑞·吉添卓;恩甘·杜;肯特·恩古言;尤里·皮科史凱;尼爾·萊特
• 申請（專利權）人: 烽騰科技有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京匯智英財專利代理事務所(普通合伙) 11301
• 代理人: 潘光興

技術領域

本發明大體而言涉及對大規模電子裝置進行電性檢驗的領域，具體而言，涉及對液晶(Liquid?Crystal；LC)顯示器及有機發光二極管(Organic?Light?Emitting?Diode；OLED)顯示器的檢驗、以及在此種檢驗中所使用的自動化系統。?

背景技術

液晶顯示器(Liquid?Crystal?Display；LCD)面板包含液晶，液晶呈現出電場相關(electric-field?dependent)光調制特性。液晶顯示器面板最常用來在從傳真機、膝上型計算機屏幕到大屏幕、高清晰度電視機在內的各種裝置中顯示圖像及其他信息。有源矩陣LCD面板是由多個功能層組成的復雜分層式結構，所述多個功能層包括：偏光膜；TFT玻璃基板，包含多個薄膜晶體管、多個存儲電容器、多個畫素電極、以及互聯布線；濾色片玻璃基板，包含黑色矩陣及濾色片陣列以及透明共用電極；由聚酰亞胺制成的定向膜；以及實際液晶材料，包含塑料/玻璃間隔體，以維持恰當的LCD單元厚度。?

LCD面板是在高度受控的條件下在潔凈室環境中制造，以使良率最大化。然而，許多LCD因為制造瑕疵而不得不被丟棄。?

如上所述，為提高復雜電子裝置(例如LCD面板)的生產良率，執行各種檢驗步驟來識別可在制造過程的各個步驟期間出現的各種缺陷。可在各制造步驟之間或在完成整個制造過程之后執行上述檢驗步驟。上述檢驗過程的一個實例是測試LC顯示器及OLED顯示器中所用的TFT陣列是否存在電性缺陷。使用各種檢驗裝置來執行上述測試。可用于此種目的的實例性裝置包括由位于美國加利福尼亞州圣何塞(San?Jose,California,USA)的奧寶科技有限公司(Orbotech?Ltd.)市售的陣列檢查器(Array?Checker)AC6080。作為另外一種選擇，可使用所屬領域的技術人員所已知的且可在市場上購得的電子束檢驗系統來執行TFT陣列測試。?

一般而言，電性檢驗系統要求受試裝置(device?under?test；DUT)由有利于探測缺陷的電性信號或模式來驅動。這些信號通過載有多個探針銷的結構而從模式產生器子系統被傳送至DUT，所述多個探針銷在實體上接觸位于DUT有效區域的周邊處的接觸焊盤。在對TFT陣列進行電性檢驗的情況下，經常將一或多個端接棒(shorting?bar)(與陣列設置于同一基板上)設置于用于陣列測試的接觸焊盤與面板驅動線之間。這些端接棒被連接至驅動線子集(例如，一個端接棒可連接至每隔一個的門極線)，從而減少了所需觸點的數目，此使得探針總成被簡化。?

一般而言，不同的裝置具有不同的測試焊盤布局(layout)。測試焊盤布局可取決于DUT的尺寸、欲在同一基板上被測試的相鄰裝置間的距離、DUT在基板上的取向以及其他因素。如果欲在同一電性檢驗系統上對不同的裝置進行測試，則因此必須修改探測結構來與DUT的構造相符合。目前，利用涉及到高強度體力勞動的過程來完成對探測結構的重新配置。舉例而言，在利用進行手動配置的探測結構的電性檢驗系統中，在欲測試不同的電路布局時，機器操作員需要安裝、校準、并配置新的探測結構。這個過程需要中斷生產過程，從而降低機器利用率。對于需要過程控制室的過程而言，操作員需要進入所述室來執行重新配置，此可在所述室被恢復到工藝條件時進一步造成停機時間且可使操作員處于安全隱患中。?

在欲對新的面板布局進行測試的情況下，必須以客戶支付的額外成本來開發定制型的探測結構。不被使用的探測結構被存儲于機器之外，此需要額外的地面空間來進行存儲。?

用于實現自動探針配置并為探針存儲創造條件的一個實例性解決方案闡述于PCT公開案第WO2011/085227號中。然而，所述系統依賴于電性總線來遞送來自探針的信號或將信號遞送至探針，此會出現一定的可靠性不足問題。因此，需要新穎的經過改良的自動探針存儲及配置系統。?

發明內容

本發明涉及用于實質上消除上述及其他與傳統技術相關聯的問題中的一或多個問題的方法及系統，以有利于對大規模電子裝置進行檢驗。?

根據本文所述實施例的一個方面，提供一種用于檢驗受試裝置的探針系統，所述探針系統包括：存儲架；探針桿門架總成；支架，附裝至所述探針?桿門架；探針總成，可附裝至所述支架，并用以與所述受試裝置進行電性配合；以及機械手系統，用以從所述存儲架拾取所述探針總成并將所述探針總成遞送至附裝至所述探針桿門架的所述支架，所述機械手系統還用以從附裝至所述探針桿門架的所述支架拾取所述探針總成并將所述探針總成遞送至所述存儲架。?