[實用新型]負壓控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420331881.0
• 申請日: 2014-06-20
• 公開（公告）號: CN204029768U
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發(fā)明（設計）人: 許鴻銘;姜智元;張木慶
• 申請（專利權）人: 蘇州均華精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡;徐丹

技術領域

本實用新型涉及一種負壓控制裝置，尤指一種能利用單一真空源，以多個負壓給多個裝置的控制裝置。?

背景技術

負壓裝置，其系廣泛地應用于晶圓封裝的制程中。常見的負壓裝置的使用方式，其系提供一負壓給一上模具，而使該上模具吸附一膜體。再提供另一負壓給一下模具，而使該下模具吸附一晶圓。等待封裝制程完成后，負壓裝置又提通一負壓給一取放裝置，以將完成封裝的晶圓取出下模具。?

或者該負壓裝置系提供一負壓給一下模具，該下模吸附有復數個晶粒，該些晶粒系貼附于一膜體。該負壓裝置再提供一負壓給一上模具，該上模具系對該膜體進行吸附，而使該膜體與該些晶粒相互分離。該負壓裝置又提通一負壓給一取放裝置，以將該些晶圓取出下模具。?

如上所述，負壓裝置系能夠應用于晶圓封裝的制程中，但上述之負壓提供系使用至少兩部負壓裝置，如真空抽取機，或者三部以上。使用多部負壓裝置的目的在于因上述之上模具、下模具或取放裝置所使用的真空負壓值皆不相同，所以才使用多部負壓裝置以提供多種真空負壓值之負壓給多個裝置。使用多部負壓裝置的結果系造成設備需要較大的設置空間，以及較高成本。?

發(fā)明內容

本實用新型目的在于提供一種負壓控制裝置，其系藉由單一真空源，以提供多個負壓給多個裝置，如此能夠節(jié)省設備空間，并降低成本。?

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種負壓控制裝置，其具有：?

一真空單元；

至少二第一閥，各第一閥系耦接該真空單元；

至少二第一工作區(qū)，各第一工作區(qū)系耦接各第一閥；

一第二閥，其系耦接所述真空單元；

一壓力控制器，其系耦接所述第二閥；以及

一第二工作區(qū)，其系耦接所述壓力控制器。

上述方案中，還具有一控制單元，該控制單元系分別耦接所述真空單元、所述第一閥、所述第二閥與所述壓力控制器。?

上述方案中，所述第一工作區(qū)或第二工作區(qū)為一模具、一上模、一下模、一載盤、一模腔或一吸取裝置。?

上述方案中，所述第一閥與第二閥為一真空電磁閥。?

上述方案中，還具有至少一壓力表，各壓力表系分別耦接各第一閥與各第一工作區(qū)。?

上述方案中，還具有一壓力表，該壓力表系分別耦接所述壓力控制器與所述第二工作區(qū)。?

附圖說明

圖1為本實用新型負壓控制裝置的示意圖；?

圖2為本實用新型負壓控制裝置的動作時序圖。

以上附圖中：10、真空單元；11、第一閥；12、壓力表；13、第一工作區(qū)；14、第二閥；15、壓力控制器；16、第二工作區(qū)；17、控制單元；18、壓力表。?

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：?

實施例一：?參見圖1-圖2所示：

請配合參考圖1所示，一種負壓控制裝置，其具有一真空單元10、至少二第一閥11、至少一壓力表12、18、至少二第一工作區(qū)13、一第二閥14、一壓力控制器15、一第二工作區(qū)16與一控制單元17。

真空單元10系為一真空泵浦。?

第一閥11系耦接真空單元10。第一閥11為一真空電磁閥。?

各壓力表12系耦接各第一閥11。?

各第一工作區(qū)13系耦接各壓力表12。第一工作區(qū)13為一模具、一上模、一下模、一載盤、一模腔或一吸取裝置。?

第二閥14系耦接真空單元10。第二閥14為一真空電磁閥。?

壓力控制器15系耦接第二閥14。?

第二工作區(qū)16系耦接壓力控制器15。第二工作區(qū)15為一模具、一上模、一下模、一載盤、一模腔或一吸取裝置。?

控制單元17系分別耦接真空單元10、第一閥11、第二閥14與壓力控制器15。?

壓力表18系分別耦接壓力控制器15與第二工作區(qū)16。?

請配合參考圖2所示，其系為一時序控制示意圖。直線A為一開始點。直線B為一終點。時序線C至I系表示工作動作時間。?

請再配合參考圖1所示，若第一工作區(qū)13為一上模，時序線D系表示上模的內圈具有一第一真空值，該第一真空值的開始點系為時序線D鄰近直線A的高起位置處，該第一真空值的終止點系為時序線D鄰近直線B的高起位置處。同理，時序線C至I亦可為相同的論述。該第一工作區(qū)13系為圖1之右上角的第一個。?

時序線C系表示一膜或一載盤的定位預備的起終時間。?