[實用新型]石墨載板有效
| 申請號： | 201420319818.5 | 申請日： | 2014-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN203910834U | 公開（公告）日： | 2014-10-29 |
| 發明（設計）人： | 陳璐;王舉亮;倪玉鳳;張婷;錢俊;董鵬;高鵬;宋志成 | 申請（專利權）人： | 中電投西安太陽能電力有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海碩力知識產權代理事務所 31251 | 代理人： | 王建國 |
| 地址： | 710100 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石墨 | ||
【權利要求書】：
1.一種石墨載板，用于板式PECVD工序中，其特征在于，包括：
石墨板，所述石墨板上均勻設置有若干鏤空區域，相鄰鏤空區域之間通過間隔條間隔開；
所述間隔條上設置有卡槽，用于安裝金屬掛鉤；硅片通過所述金屬掛鉤放置于所述鏤空區域內；其中：
所述鏤空區域呈四角具有倒角的正方形，正方形的邊長為162-166mm，倒角的直徑為212-216mm。
2.如權利要求1所述的石墨載板，其特征在于，所述硅片放入所述鏤空區域后，所述硅片邊緣距離所述鏤空區域邊緣的距離為1-3mm。
3.如權利要求1所述的石墨載板，其特征在于，相鄰鏤空區域之間的間距為7-9mm。
4.如權利要求1所述的石墨載板，其特征在于，每個間隔條上設置有兩個卡槽，所述兩個卡槽位置居中，且兩個卡槽之間的間距為80mm。
5.如權利要求1所述的石墨載板，其特征在于，所述硅片的尺寸為：邊長160mm*160mm，倒角直徑為210mm。
6.如權利要求1所述的石墨載板，其特征在于，所述石墨板上設置的鏤空區域的數量為5行10列或5行9列。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
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