[實(shí)用新型]芯片鍵合區(qū)鋁層致密性簡(jiǎn)易測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420310840.3
• 申請(qǐng)日: 2014-06-12
• 公開（公告）號(hào): CN203941883U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳堅(jiān);呂偉;丁軍;陶勇;謝志健;馮東明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰新順微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種金屬層致密性的測(cè)量裝置，尤其涉及半導(dǎo)體芯片制造過程中，芯片鍵合區(qū)金屬鋁層的致密性測(cè)量。屬集成電路或分立器件芯片制造技術(shù)領(lǐng)域。?

背景技術(shù)

芯片鍵合區(qū)金屬層主要以鋁為主，而鋁的致密性對(duì)后道封裝的引線鍵合有重要的影響。為了提高鋁層的致密性，需對(duì)制造工藝進(jìn)行各種優(yōu)化，為了對(duì)比試驗(yàn)結(jié)果，一般采用掃描電子顯微鏡獲得鍵合區(qū)高倍圖象，然后觀察鋁粒子的粗細(xì)來表征鍵合區(qū)鋁的致密性。但由于掃描電子顯微鏡價(jià)格及其昂貴，一般企業(yè)不具備這個(gè)條件，所以需要送至專門的檢測(cè)部門或者擁有該設(shè)備的企業(yè)進(jìn)行檢測(cè)，增加了企業(yè)的成本，而且會(huì)花費(fèi)一定的時(shí)間，影響生產(chǎn)效率。?

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種芯片鍵合區(qū)鋁層致密性簡(jiǎn)易測(cè)量裝置，簡(jiǎn)單易操作，可以降低成本，提高生產(chǎn)效率。?

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種芯片鍵合區(qū)鋁層致密性簡(jiǎn)易測(cè)量裝置，它包括圓盤狀的水平測(cè)試臺(tái)和支撐平臺(tái)，所述支撐平臺(tái)包括三個(gè)立柱，在所述三個(gè)立柱的頂部分別延伸出三塊平板，所述三塊平板的一端相互連接在一起，且在連接處的下方設(shè)置有筒狀的圓管，在所述圓管內(nèi)設(shè)置有重釘，所述重釘尾部的重錘位于支撐平臺(tái)上方，所述重釘頭部的重釘頭垂直穿過圓管。在所述支撐平臺(tái)的三塊平板上均設(shè)置有限位柱，所述三個(gè)限位柱所形成的圓圈正好將重錘圍住。?

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：?

本實(shí)用新型可以直觀地比較不同工藝條件下鋁層的致密性，使用方便、快捷，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，可以降低成本，提高生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。?

圖2為本實(shí)用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。?

其中：?

水平測(cè)試臺(tái)1

支撐平臺(tái)2

立柱21

平板22

圓管23

重釘3

重錘31

重釘頭32

限位柱4

測(cè)試樣片5。

具體實(shí)施方式

參見圖1—圖2，本實(shí)用新型涉及一種芯片鍵合區(qū)鋁層致密性簡(jiǎn)易測(cè)量裝置，包括圓盤狀的水平測(cè)試臺(tái)1和支撐平臺(tái)2，所述支撐平臺(tái)2包括三個(gè)立柱21，在所述三個(gè)立柱21的頂部分別延伸出三塊平板22，所述三塊平板22的一端相互連接在一起，且在連接處的下方設(shè)置有筒狀的圓管23，在所述圓管23內(nèi)設(shè)置有重釘3，所述重釘3尾部的重錘31位于支撐平臺(tái)2上方，所述重釘3頭部的重釘頭32垂直穿過圓管23，在所述支撐平臺(tái)2的三塊平板22上均設(shè)置有限位柱4，所述三個(gè)限位柱4所形成的圓圈正好將重錘31圍住，起到限位作用。?

具體操作如下：?

將測(cè)試樣片5放在水平測(cè)試臺(tái)1上，重釘3用手輕輕緩慢垂直向下放，直到重釘頭32與測(cè)試樣片5接觸，同時(shí)，重釘頭32與測(cè)試樣片5接觸時(shí)，重釘3與支撐平臺(tái)2的平板22間會(huì)有一定的空隙，如圖2，此時(shí)視情況可在重釘3上方放置數(shù)個(gè)重錘31，這樣等待一段設(shè)定的時(shí)間，慢慢向上撤走重錘31和重釘3。

此時(shí)，在測(cè)試樣片5表面有一個(gè)圓錐印子，為了測(cè)量效果更加明顯，可在重釘頭32涂一些著色劑。?

如此同等條件測(cè)量其它樣片，在顯微鏡下測(cè)量樣片上圓錐印子的直徑，比較直徑的大小，直徑越小，說明樣片鋁層越致密，鋁層質(zhì)量越好。?