[實用新型]芯片鍵合區鋁層致密性簡易測量裝置有效

申請號：	201420310840.3	申請日：	2014-06-12
公開（公告）號：	CN203941883U	公開（公告）日：	2014-11-12
發明（設計）人：	吳堅;呂偉;丁軍;陶勇;謝志健;馮東明	申請（專利權）人：	江陰新順微電子有限公司
主分類號：	H01L21/66	分類號：	H01L21/66
代理公司：	江陰市同盛專利事務所(普通合伙) 32210	代理人：	唐紉蘭;曾丹
地址：	214434 江蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	芯片鍵合區鋁層致密簡易測量裝置
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【權利要求書】：

1.一種芯片鍵合區鋁層致密性簡易測量裝置，其特征在于它包括圓盤狀的水平測試臺（1）和支撐平臺（2），所述支撐平臺（2）包括三個立柱（21），在所述三個立柱（21）的頂部分別延伸出三塊平板（22），所述三塊平板（22）的一端相互連接在一起，且在連接處的下方設置有筒狀的圓管（23），在所述圓管（23）內設置有重釘（3），所述重釘（3）尾部的重錘（31）位于支撐平臺（2）上方，所述重釘（3）頭部的重釘頭（32）垂直穿過圓管（23）。

2.根據權利要求1所述的一種芯片鍵合區鋁層致密性簡易測量裝置，其特征在于在所述支撐平臺（2）的三塊平板（22）上均設置有限位柱（4），所述三個限位柱（4）所形成的圓圈正好將重錘（31）圍住。

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