[實用新型]處理LED MOCVD設備的工藝廢氣的尾氣處理裝置

有效

• 申請號: 201420308048.4
• 申請日: 2014-06-11
• 公開（公告）號: CN204100262U
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 鄭洪;王福清;車薛東;肖陶;葉建偉;王曉琳
• 申請（專利權）人: 上海協微精密機械有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于環保節能領域，涉及一種處理LED?MOCVD設備的工藝廢氣的尾氣處理裝置。?

背景技術

隨著LED在FPD背光源領域的大量應用，以及LED照明呈現的廣闊市場前景，近年來在LED特別是藍光LED制造方面的投資更甚，藍光MOCVD(金屬有機化合物化學氣相沉淀)設備裝機量呈爆發式增長。根據前期的MOCVD工藝經驗，傳統的尾氣處理方式對此MOCVD工藝殘留的大流量的H₂和NH₃(單個工藝反應腔至少H₂200slm，NH₃100slm)處理被證明存在諸多的弊端。?

1)水洗處理方式。它只是利用NH₃水溶性大的特點，吸收氨氣形成氨水，氨水必須要大量的酸進行中和處理，產生巨量的銨鹽廢水需要再處理才能排放，否則氨氮和總氮值大大超標；另外大量的H₂被直接排放，會造成巨大的安全隱患，這又要添加大量的CDA或N₂來稀釋H₂。另外氨水的易揮發性造成的特定臭味也嚴重影響環境。?

2)電熱水洗處理方式。由于NH₃的燃點高，燃燒濃度范圍(Combustion?Concentration?Range)狹窄(空氣中15％-28％)，造成NH₃延遲燃燒而且不能燃盡，NH₃在反應腔爆燃或者爆炸，引起壓力頻繁波動，輕則影響MOCVD工藝，重則造成安全隱患；另外，大量沒燃盡的NH₃通過水洗部分吸收后，又會帶來含氮廢水處理的問題。?

3)燃氣水洗處理方式。雖然避免了NH₃不能及時燃燒的問題，但由于需要大量的燃氣和額外的助燃O₂，初始的審批和管道鋪設成本高；另外在使用過程中需要不斷消耗燃氣和O₂，會帶來較高的使用成本。再者，燃氣本身是易燃易爆氣體，帶來額外的安全隱患；另外由于燃氣的溫度高，高溫燃燒產生的大量副產物氮氧化物造成另外的污染源以及燃氣燃燒后的副產物CO₂CO本身帶來環境污染。?

實用新型內容

本實用新型是想解決傳統尾氣處理裝置在處理大流量H₂和NH₃時存在的以上問題。本實用新型的目標是提供一種處理LED?MOCVD設備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，實現安全徹底燃燒H₂和NH₃，不產生含氮廢水，氮氧化物生成少，能耗節省的目標。?

為了解決上述技術問題，本實用新型采用以下的技術方案：?

一種處理LED?MOCVD設備的工藝廢氣的尾氣處理裝置包括一個用于燃燒廢氣的燃燒腔體和一個包裹燃燒腔體的加熱帶，所述燃燒腔體包括環形嵌套在一起的外腔和內腔；所述嵌套在一起的外腔和內腔有一個共同的頂部端蓋，所述端蓋將外腔和內腔通過螺絲及密封墊緊鎖在一起；外腔外壁配置有兩片環抱式加熱帶，所述加熱帶將整個外腔包裹起來。?

優選地，所述加熱帶外表層是不銹鋼保護層，中間是絕緣保溫層，加熱絲內嵌于絕緣保溫層中，這樣既可以減少熱量的損失，還可以防止高溫對使用人員的意外燙傷。?

優選地，所述加熱帶外圍為六邊形，內部呈筒狀，是兩片環抱式，設置有把手，可以方便打開。?

優選地，所述燃燒腔外腔底部留有讓廢氣流入的端口。?

優選地，所述嵌套在一起的外腔和內腔之間留有讓廢氣通過的環形預熱空間，避免NH₃燃燒延遲，燃燒不干凈，產生爆燃或爆炸風險。?

優選地，所述內腔外壁設置有工藝廢氣導向槽，使經過環形空間的工藝廢氣螺旋式上升。?

優選地，所述端蓋上配置有小型直流放電點火裝置，利用一路少量的空氣作為載氣，而且是一直處于放電狀態，確保點燃，從而可以持續地把H₂和NH₃燃燒。?

優選地，所述端蓋配置有多路多級燃燒用空氣輸入口，可以讓廢氣經過多路多級燃燒，從而燃燒的更徹底，避免局部過熱產生大量氮氧化物。?

優選地，所述端蓋上配置有應急冷卻用氮氣(N₂)輸入口，及冷卻端蓋用冷卻水接頭。?

優選地，所述燃燒腔外腔底部讓工藝廢氣流入的管子上留有防回火氮氣(N₂)輸入口。?

本實用新型處理效果參照下面的表1，是通過連續檢測燃燒反應后生成的冷凝水的水樣里面的總氮值：?