[實(shí)用新型]處理LED MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420308048.4
• 申請(qǐng)日: 2014-06-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204100262U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭洪;王福清;車薛東;肖陶;葉建偉;王曉琳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海協(xié)微精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): F23G7/06
• 分類號(hào): F23G7/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種處理LEDMOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，包括一個(gè)用于燃燒工藝廢氣的燃燒腔體和一個(gè)包裹燃燒腔體的加熱帶，所述燃燒腔體包括環(huán)形嵌套在一起的外腔和內(nèi)腔；所述嵌套在一起的外腔和內(nèi)腔有一個(gè)共同的頂部端蓋，所述端蓋將外腔和內(nèi)腔通過(guò)螺絲及密封墊緊鎖在一起；外腔外壁配置有兩片環(huán)抱式加熱帶，所述加熱帶將整個(gè)外腔包裹起來(lái)。?

2.如權(quán)利要求1所述的處理LED?MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，所述加熱帶外表層是不銹鋼保護(hù)層，中間是絕緣保溫層，加熱絲內(nèi)嵌于絕緣保溫層中。?

3.如權(quán)利要求1所述的處理LED?MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，所述加熱帶外圍為六邊形，內(nèi)部呈筒狀，設(shè)置有把手，可以方便打開(kāi)。?

4.如權(quán)利要求1所述的處理LED?MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，所述端蓋上配置有小型直流放電點(diǎn)火裝置。?

5.如權(quán)利要求1所述的處理LED?MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，所述端蓋配置有多路多級(jí)燃燒用空氣輸入口。?

6.如權(quán)利要求1所述的處理LED?MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，所述端蓋上配置有應(yīng)急冷卻用N₂輸入口，及冷卻端蓋用冷卻水接頭。?

7.如權(quán)利要求1所述的處理LED?MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，所述燃燒腔外腔底部留有讓工藝廢氣流入的端口。?

8.如權(quán)利要求1所述的處理LED?MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，所述嵌套在一起的外腔和內(nèi)腔之間留有讓工藝廢氣通過(guò)的環(huán)形預(yù)熱空間。?

9.如權(quán)利要求1所述的處理LED?MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，所述內(nèi)腔外壁設(shè)置有工藝廢氣導(dǎo)向槽，使工藝廢氣螺旋式上升。?

10.如權(quán)利要求1所述的處理LED?MOCVD設(shè)備的工藝廢氣的尾氣處理裝置，其特征在于，所述外腔底部的工藝廢氣進(jìn)氣管上配置有防回火N₂輸入管。?