[實用新型]真空裝置

有效

• 申請號: 201420307421.4
• 申請日: 2014-06-10
• 公開（公告）號: CN203960327U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 約亨·克勞瑟
• 申請（專利權）人: 馮·阿登納有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/44
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 楊生平;鐘錦舜

技術領域

本實用新型涉及一種真空裝置以及用于運行真空裝置的方法。

背景技術

一般可使用不同的涂層方法，從而對基體等進行涂層。在此，諸如物理氣相沉積法(PVD)、化學氣相沉積法(CVD)的涂層方法需要真空處理環境。真空處理環境例如可借助于真空裝置或真空室提供，其中，真空室可具有至少一個開口，從而例如將基體置于真空室中，和/或將其從真空室中取出。此外，涂層方法可在所謂的成行涂層裝置(串聯涂層裝置)中實施，其中，也可依次進行多次地涂層處理，其中，可運輸通過成行涂層裝置的基體可在成行涂層裝置的不同處理區域中涂覆材料。

實用新型內容

根據不同的實施方式，提供真空室，例如作為真空裝置、真空設備或成行涂層設備的一部分，其中，真空室這樣地設置，即，其具有通道，設置成允許基體進入真空室和/或從真空室中出來，其中，該至少一個通道具有至少一個元件，該元件以下述方式可移動地布置和設置，即，通道的通過開口的尺寸可匹配基體，該基體被運輸通過真空室的通道。

不同的實施方式的一方面可明顯在其中看到，例如運輸不同厚度的基體的真空室可匹配各處理的基體的厚度。在此，與各基體厚度進行的入口匹配和/或出口匹配，使得真空室的內部相對于外部環境更好地分界或分隔，其中，基體通過入口運輸到真空室中，基體通過出口運輸出真空室。

此外，不同的實施方式的另一方面可明顯在其中看到，真空室可具有用于運輸基體的區域，在該區域中基體可從入口運輸至出口，其中，區域的尺寸可至少沿著一個方向匹配基體的尺寸。由此，例如可能的是，基體可被運輸通過真空室，然而運輸區域使得自由空間很小，使得例如可阻止和/或防止氣流通過真空室。

此外，在真空室的通道中的通過開口的尺寸與基體尺寸的匹配可用于在下述情況下在真空室中提供恒定的真空條件，即，不同尺寸的基體應被運輸通過真空室的通道，因為真空室內的真空條件可取決于下述情況，即，當基體被運輸通過通道時在通道中有多少自由空間，因為通過通道中的自由空間例如可實現真空室與通道另一側的環境之間的氣體交換。

此外，根據不同的實施方式，真空室可作為氣體分隔室，其中，真空室的第一通道例如可與第一涂層室連接，且真空室的第二通道可與第二涂層室連接，其中，真空室和涂層室由此具有共同的真空系統，使得基體可在真空中從第一涂層室被運輸通過真空室進入第二涂層室，其中，真空室然而使得第一涂層室與第二涂層室之間更好地氣體分隔，因為第一和第二通道(或真空室的整個運輸區域)可匹配基體尺寸。

根據不同的實施方式，真空裝置可至少具有：真空室，其設置用于在真空中處理基體；以及至少一個通道，其設置用于使得基體進入真空室和/或從真空室中出來，其中，該至少一個通道具有至少一個元件，其可移動地這樣布置和設置，即，用于使基體通過的至少一個通道的通過開口的尺寸在該元件的不同打開位置下是可改變的。根據不同的實施方式，基體在真空室中的處理包括將基體運輸通過真空室。此外，基體在真空室中的處理可在于，基體可從真空裝置的第一處理環境通過真空室102進入真空裝置的第二處理環境。

此外，根據不同的實施方式，真空裝置可具有控制裝置，其可設置成，取決于被運輸通過真空室的基體的厚度而移動所述至少一個元件。

根據不同的實施方式，該至少一個元件可這樣地設置，即，其將用于使基體進入真空室的第一通道與使基體從真空室中出來的第二通道相互耦接，使得在第一通道與第二通道之間提供氣體引導。換而言之，可在真空室內提供隧道或管道，其中，該至少一個可移動的元件可形成該隧道或管道的一部分，使得基體可從第一通道被運輸通過隧道或管道至第二通道，然而防止和/或阻止氣流通過第一通道或通過第二通道。此外，使基體進入真空室的第一通道與使基體從真空室出來的第二通道可這樣地相互耦接，即，其可相互機械連接和/或可形成真空裝置的共同的真空系統。

根據不同的實施方式，該至少一個元件可這樣地相對于被傳輸通過真空室的基體而布置，即，該至少一個元件的至少一個面沿著基體表面在第一通道與第二通道之間延伸。

根據不同的實施方式，該至少一個元件可這樣地布置，即，第一通道的通過開口的尺寸和第二通道的通過開口的尺寸可同時借助于該至少一個可移動的元件而改變。換而言之，可在真空室內提供隧道或管道，其中，該至少一個可移動的元件可形成隧道或管道的一部分，使得隧道或管道的高度(且由此橫截面)可匹配基體的厚度，該基體可被運輸通過隧道或管道。