[實用新型]真空裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420307421.4
• 申請日: 2014-06-10
• 公開（公告）號: CN203960327U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發(fā)明（設計）人: 約亨·克勞瑟
• 申請（專利權）人: 馮·阿登納有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/44
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 楊生平;鐘錦舜

1.一種真空裝置，其特征在于，具有：?

真空室(102)，設置成在真空中處理基體(200)；以及?

至少一個通道(104)，設置成使基體(200)進入真空室(102)和/或從真空室(102)中出來，其中，該至少一個通道(104)具有至少一個元件(106)，該至少一個元件這樣地可移動地布置和設置，即，至少一個通道(104)的通過開口(105)的尺寸(109)可改變，從而使基體(200)進入該元件(106)的不同打開位置。?

2.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，其此外具有控制裝置(112)，該控制裝置設置成，取決于基體(200)的厚度而移動至少一個元件(106)。?

3.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，至少一個元件(106)這樣地設置，即，其將使基體(200)進入真空室(102)的第一通道(104a)與使基體(200)從真空室(102)出來的第二通道(104b)相互耦接，使得在第一通道(104a)與第二通道(104b)之間提供氣體引導部。?

4.根據權利要求3所述的真空裝置，其特征在于，至少一個元件(106)這樣地相對于被運輸通過真空室(102)的基體(200)布置，即，該至少一個元件(106)的至少一個面(106a)沿著基體表面在第一通道(104a)與第二通道(104b)之間延伸。?

5.根據權利要求3所述的真空裝置，其特征在于，至少一個元件(106)這樣地設置，即，第一通道(104a)的通過開口(105)的尺寸(109)和第二通道(104b)的通過開口(105)的尺寸(109)可同時借助于至少一個可移動的元件(106)而改變。?

6.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，其此外具有運輸系統(tǒng)(116)，用于運輸基體(200)通過至少一個通道(104)。?

7.根據權利要求6所述的真空裝置，其特征在于，運輸系統(tǒng)(116)具有至少一個導氣元件(118)，這樣地布置和設置，即，該至少一個可移動的元件(106)和運輸系統(tǒng)(116)的至少一個導氣元件(118)形成氣體引導部(105a)。?

8.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，至少一個可移動的元件?(106)這樣地相對于被運輸通過真空室(102)的基體(200)布置，即，在該至少一個可移動的元件(106)與被運輸通過真空室(102)的基體(200)之間設置間隙，其中，該間隙在垂直于基體表面的方向上具有在大致0.5cm至5cm的范圍內的空間擴展。?

9.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，其此外具有至少部分布置在真空室(102)內的調節(jié)裝置(112)，其與至少一個元件(106)耦接，使得該至少一個元件(106)可運動。?